금 스퍼터 코터는 대상 물질(이 경우 금)에 에너지를 가해 원자가 방출되어 기판 위에 증착되도록 하는 스퍼터링이라는 공정을 통해 작동합니다. 이 기술은 회로 패널이나 금속과 같은 다양한 물체에 얇고 균일한 금 층을 만드는 데 사용되며 특히 주사 전자 현미경(SEM) 샘플 준비에 유용합니다.
이 공정은 일반적으로 아르곤 이온과 같은 에너지로 금 원자를 여기시키는 것으로 시작됩니다. 이 충격으로 금 원자가 대상에서 방출되어 기판 위에 증착되어 얇고 균일한 층을 형성합니다. 기술자는 증착 공정을 제어하여 맞춤형 패턴을 생성하고 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
금 스퍼터링에는 DC 스퍼터링, 열 증착 증착, 전자빔 증착 등 다양한 방법이 있습니다. 각 방법에는 저압 또는 고진공 환경에서 금을 증발시켜 기판에 응축시키는 과정이 포함됩니다.
SEM의 경우, 금 스퍼터 코터는 시료에 얇은 금 또는 백금 층을 증착하여 전도도를 높이고, 전기 충전 효과를 줄이며, 전자빔으로부터 시료를 보호하는 데 사용됩니다. 이러한 금속의 높은 전도성과 작은 입자 크기는 이차 전자 방출과 에지 해상도를 향상시켜 고품질 이미징을 제공합니다.
전반적으로 금 스퍼터 코터는 다양한 기판에 얇고 균일한 금 층을 만드는 데 필수적인 도구로, 회로 기판 제조에서 SEM 샘플 준비에 이르기까지 다양한 용도로 사용됩니다. 이 공정은 고도로 제어되며 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있어 일관되고 고품질의 결과를 보장합니다.
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