증착 중 증착된 박막의 두께는 스타일러스 프로파일 측정 및 간섭 측정과 같은 기계적 방법을 사용하여 측정할 수 있습니다. 이러한 방법은 기판의 일부를 마스킹하거나 증착된 필름의 일부를 제거하여 생성되는 필름 표면과 기판 사이의 홈 또는 스텝의 존재에 의존합니다. 필름 두께는 특정 지점에서 측정되며, 정확한 측정을 위해서는 필름의 균일성이 중요합니다.
스타일러스 프로파일 측정:
스타일러스 프로파일 측정은 필름 표면을 가로질러 이동하는 스타일러스를 사용합니다. 스타일러스는 필름의 두께에 해당하는 홈이나 스텝을 만나면 수직으로 움직이는 것을 감지합니다. 이 방법은 비교적 간단하고 상세한 표면 프로파일을 제공할 수 있지만 필름과 물리적으로 접촉해야 하므로 섬세한 표면이 손상될 수 있습니다.간섭 측정:
반면 간섭계는 광파를 사용하여 두께를 측정합니다. 빛이 필름과 기판에서 반사될 때 광 경로 길이의 차이로 인해 간섭 패턴이 생성됩니다. 이러한 간섭 프린지를 분석하여 필름의 두께를 결정할 수 있습니다. 이 방법은 반사율이 높은 표면이 필요하며 비침습적이기 때문에 섬세한 필름에 적합합니다. 그러나 스타일러스 프로파일 측정에 비해 간섭 패턴을 해석하는 것이 더 복잡할 수 있습니다.두 방법 모두 효과적이지만 필름의 균일성과 적절한 홈 또는 스텝의 존재 여부에 따라 한계가 있습니다. 이러한 방법 중 선택은 물리적 접촉에 대한 민감도, 비파괴 테스트의 필요성 등 필름의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다.
최적화 및 고려 사항:
이러한 측정의 정확도는 진공의 품질과 소스 재료의 순도에 따라 달라지는 증착된 필름의 순도를 비롯한 여러 요소의 영향을 받습니다. 주어진 진공 압력에서 증착 속도가 높을수록 기체 불순물의 포함을 최소화하여 필름 순도를 높일 수 있습니다. 증착 챔버의 기하학적 구조와 잔류 가스와의 충돌은 필름 두께의 균일성에 영향을 미칠 수 있습니다.
