증착 중에 증착된 박막의 두께를 측정하는 것은 박막의 품질과 균일성을 보장하는 데 매우 중요합니다.
이 두께를 측정하는 데 사용되는 두 가지 주요 방법에는 스타일러스 프로파일 측정법과 간섭 측정법이 있습니다.
두 가지 방법 설명
1. 스타일러스 프로파일 측정
스타일러스 프로파일 측정법은 필름 표면을 가로질러 움직이는 스타일러스를 사용합니다.
스타일러스는 필름의 두께에 해당하는 홈이나 스텝을 만나면 수직 이동을 감지합니다.
이 방법은 간단하고 상세한 표면 프로파일을 제공할 수 있습니다.
하지만 필름과 물리적으로 접촉해야 하므로 섬세한 표면이 손상될 수 있습니다.
2. 간섭 측정
간섭계는 광파를 사용하여 필름의 두께를 측정합니다.
빛이 필름과 기판에서 반사되면 광 경로 길이의 차이로 인해 간섭 패턴이 생성됩니다.
이러한 간섭 프린지를 분석하여 필름의 두께를 결정할 수 있습니다.
이 방법은 비침습적이며 섬세한 필름에 적합하지만 스타일러스 프로파일 측정에 비해 간섭 패턴을 해석하는 것이 더 복잡할 수 있습니다.
최적화 및 고려 사항
이러한 측정의 정확도는 여러 가지 요인에 의해 영향을 받습니다.
여기에는 증착된 필름의 순도가 포함되며, 이는 진공의 품질과 소스 재료의 순도에 따라 달라집니다.
주어진 진공 압력에서 증착 속도가 높을수록 기체 불순물의 포함을 최소화하여 필름 순도를 높일 수 있습니다.
증착 챔버의 기하학적 구조와 잔류 가스와의 충돌은 필름 두께의 균일성에 영향을 미칠 수 있습니다.
더 두꺼운 필름의 경우, 필라멘트 크기에 의해 제한되는 와이어 필라멘트보다 증발 보트 및 도가니를 사용한 열 증발과 같은 방법이 선호됩니다.
전자빔 증착은 증착 속도를 엄격하게 제어할 수 있어 복잡한 재료나 화합물을 증착하는 데 적합합니다.
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