박막 증착에 일반적으로 사용되는 증착 재료에는 금속, 산화물, 화합물 등이 있습니다. 이러한 각 재료에는 고유한 장점이 있으며 애플리케이션의 요구 사항에 따라 선택됩니다.
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금속: 금속은 우수한 열 및 전기 전도성 특성으로 인해 박막 증착에 자주 사용됩니다. 따라서 열이나 전기를 효율적으로 전달하거나 관리해야 하는 애플리케이션에 이상적입니다. 사용되는 금속의 예로는 금, 은, 구리, 알루미늄 등이 있으며, 부식에 대한 저항성이나 우수한 전도성과 같은 특정 특성을 위해 각각 선택됩니다.
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산화물: 산화물은 증착 공정에 사용되는 또 다른 일반적인 종류의 재료입니다. 산화물은 마모 및 부식에 대한 저항성과 같은 보호 특성으로 인해 가치가 높습니다. 증착에 사용되는 일반적인 산화물로는 이산화규소(SiO2), 알루미늄 산화물(Al2O3), 이산화티타늄(TiO2)이 있습니다. 이러한 재료는 마이크로 일렉트로닉스 또는 광학 코팅과 같이 장벽 또는 보호층이 필요한 응용 분야에 자주 사용됩니다.
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화합물: 화합물은 금속이나 산화물만으로는 달성할 수 없는 특정 특성이 필요할 때 사용됩니다. 특정 광학, 전기 또는 기계적 특성과 같은 맞춤형 특성을 갖도록 설계할 수 있습니다. 예를 들어 다양한 질화물(예: 질화 티타늄, TiN)과 탄화물은 경도와 내마모성을 위해 사용할 수 있어 절삭 공구 및 내마모성 코팅에 적합합니다.
박막 증착을 위한 재료 선택은 코팅의 원하는 물리적, 화학적, 기계적 특성뿐만 아니라 기판 재료와의 호환성 및 증착 공정 자체와 같은 요소를 고려하여 응용 분야에 따라 매우 다양합니다. 이온 빔 증착, 마그네트론 스퍼터링, 열 또는 전자빔 증착과 같은 증착 기술은 재료 특성과 원하는 필름의 균일성 및 두께에 따라 선택됩니다.
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