열 증발 소스는 다양한 과학 및 산업 공정에서 필수적인 구성 요소입니다. 고온에서 재료를 증발시켜 기판에 증착하는 데 사용됩니다. 이러한 소스에 사용되는 재료는 고유한 특성에 따라 신중하게 선택됩니다.
열 증발 소스에 사용되는 재료에 대해 알아야 할 5가지 핵심 사항
1.기본 재료: 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨
이러한 재료는 열 증발 소스에 가장 일반적으로 사용되는 재료입니다. 고순도, 높은 융점, 낮은 증기압으로 인해 선택됩니다. 따라서 저항적으로 가열되는 증발원에 이상적입니다.
2.내화 특성
텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨은 내화 특성으로 잘 알려져 있습니다. 즉, 극도로 높은 온도에서도 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다. 이는 원재료가 녹는점 이상으로 가열되는 증발 공정에서 매우 중요합니다.
3.다양한 형태의 증발 소스
열 증발 소스는 다양한 요구에 맞게 다양한 형태로 제공됩니다:
- 보트: 보트는 일반적으로 사용되며 다양한 크기로 제공됩니다. 보트가 클수록 더 높은 전력이 필요하지만 더 높은 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
- 바스켓: 바스켓: 도가니를 지지하는 데 적합하며 증발하는 동안 봉쇄가 필요한 재료에 사용됩니다.
- 필라멘트: 필라멘트: 일반적으로 낮은 온도에서 증발할 수 있는 재료 또는 소규모 응용 분야에 사용됩니다.
- 코팅 막대: 증발 과정을 개선하거나 오염을 방지하기 위해 특정 표면 코팅이 필요한 경우에 사용할 수 있습니다.
4.애플리케이션 및 설계
증발 소스의 설계는 평면 패널 디스플레이 제조의 OLED 및 다중 코팅과 같은 특정 애플리케이션에 매우 중요합니다. 증착 소스는 증착 공정을 최적화하여 효율적이고 균일한 재료 증착을 보장하도록 설계되었습니다.
5.전원 공급 및 제어
열 증착 소스는 일반적으로 저전압 및 고전류의 전원을 필요로 합니다. 특히 보트 증착 소스의 경우 일반적으로 전력 수요가 높습니다. 증착 속도와 증착 속도를 제어하기 위해 열 증착 시스템은 종종 석영 크리스탈 마이크로 저울(QCM) 및 기타 소프트웨어 또는 하드웨어 구성을 사용합니다.
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