열 증발 소스에 사용되는 재료에는 주로 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨이 포함됩니다. 이러한 재료는 순도가 높고 융점이 높으며 증기압이 낮기 때문에 저항 가열 증발원에 적합하도록 선택됩니다. 이러한 소스는 보트, 바스켓, 필라멘트, 코팅 막대 등 다양한 형태로 제공되며, 각기 다른 유형의 증발제와 용도를 지원하도록 설계되었습니다.
텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨: 이러한 재료는 내화성 특성으로 인해 증발원 제작에 일반적으로 사용됩니다. 이러한 재료는 심각한 열화 없이 고온을 견딜 수 있으며, 이는 소스 물질을 녹는점 이상으로 가열하여 기화하여 기판에 증착하는 증발 공정에 매우 중요합니다.
증발 소스의 형태:
- 보트: 일반적으로 사용되며 다양한 크기로 제공됩니다. 보트가 클수록 동일한 증착 속도에 더 높은 전력이 필요하지만 더 높은 최대 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
- 바스켓: 바스켓: 도가니를 지지하는 데 적합한 바스켓을 포함하며 증착 중에 봉쇄가 필요할 수 있는 재료에 사용됩니다.
- 필라멘트: 필라멘트: 일반적으로 낮은 온도에서 증착할 수 있는 재료나 소규모 응용 분야에 사용됩니다.
- 코팅 막대: 증발 과정을 개선하거나 오염을 방지하기 위해 특정 표면 코팅이 필요한 경우에 사용할 수 있습니다.
애플리케이션 및 디자인:
증발 소스의 설계는 평판 디스플레이 제조의 OLED/다중 코팅과 같은 특정 애플리케이션에 매우 중요합니다. 증착 소스는 증착 공정을 최적화하여 효율적이고 균일한 재료 증착을 보장하도록 특별히 설계되었습니다.전원 공급 및 제어:
열 증착 소스에는 일반적으로 저전압 및 고전류의 전원이 필요합니다. 특히 보트 증착 소스의 경우 일반적으로 전력 수요가 높습니다. 증착 속도와 증착률을 제어하기 위해 열 증착 시스템은 종종 석영 결정 마이크로 저울(QCM) 및 기타 소프트웨어 또는 하드웨어 구성을 사용하여 증착 속도와 필름 특성을 관리합니다.
증착제 재료:
