PVD 기계의 전체 형태는 다음과 같습니다.물리적 기상 증착 기계. 이 용어는 고체 또는 액체 물질을 기화시킨 다음 기판 위에 증착하는 과정을 통해 다양한 표면에 박막을 적용하는 방법인 물리적 기상 증착 공정에 사용되는 장치를 말합니다.
물리적 기상 증착(PVD) 는 증착할 재료(일반적으로 금속)를 진공 환경에서 기화시키는 진공 코팅 기술입니다. 이 기화는 증발 또는 스퍼터링과 같은 다양한 방법을 통해 발생할 수 있습니다. 일단 기화되면 재료는 기판 표면에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다. 이 필름은 향상된 내마모성, 내식성, 마찰 감소 등 여러 가지 이점을 제공합니다.
PVD 공정에는 여러 단계가 포함됩니다:
- 증발: 소스 재료를 기화점까지 가열하여 고체 또는 액체에서 증기로 전환합니다.
- 운송: 기화된 물질은 진공 챔버를 통과하여 기판에 도달합니다.
- 반응: 경우에 따라 증착 전에 증기가 화학 반응을 일으킬 수 있습니다.
- 증착: 증기는 기판에 응축되어 얇고 균일한 필름을 형성합니다.
PVD 기계는 다목적이며 세라믹 코팅 및 높은 경도와 내마모성을 가진 복합 코팅과 같이 다른 방법으로는 달성하기 어려운 코팅을 생산할 수 있습니다. 이러한 기계는 재료의 특성을 향상시키고 수명을 연장하는 능력으로 인해 항공우주, 자동차, 의료 등의 산업에서 널리 사용됩니다.
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