기상 증착은 기판에 박막이나 코팅을 만드는 데 사용되는 기술입니다.
여기에는 고체 또는 액체 물질을 원자 또는 분자로 기화시키는 과정이 포함됩니다.
그런 다음 이러한 원자 또는 분자는 진공 또는 저압 기체/플라즈마 환경을 통해 기판으로 이송됩니다.
원자 또는 분자가 기판에 도달하면 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.
이해해야 할 7가지 핵심 사항
1. 다양한 기상 증착 방법
물리적 기상 증착(PVD)과 같은 다양한 기상 증착 방법이 있습니다.
2. 물리적 기상 증착(PVD)
PVD에서는 스퍼터 증착과 같은 물리적 수단을 사용하여 원자 또는 분자를 소스에서 제거합니다.
3. 스퍼터 증착
스퍼터 증착에서는 운동량 교환을 통해 원자가 고체 또는 액체 소스에서 방출됩니다.
4. 증기 수송
증착 과정에서 원자 또는 분자는 진공 또는 저압 기체/플라즈마 환경을 통해 증기 형태로 운반됩니다.
5. 반응 증착
플라즈마 또는 이온은 종종 증기상에 존재합니다. 증착 공정 중에 반응성 가스가 증기에 도입되어 반응성 증착이 발생할 수도 있습니다.
6. 필름 형성
증착 재료는 일반적으로 부분 진공 상태인 저압의 스퍼터 챔버에서 증기로 변환됩니다. 그런 다음 증기는 챔버의 기판 재료에 응축되어 박막을 형성합니다.
7. 필름 두께 제어
필름의 두께는 스퍼터링 공정의 지속 시간뿐만 아니라 관련된 재료의 질량 및 코팅 입자의 에너지 수준과 같은 기타 요인에 의해 제어될 수 있습니다.
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