열 증발기의 진공 수준은 일반적으로 10^-5 Torr 이하의 압력으로 유지됩니다. 이러한 고진공 환경은 증착된 필름의 품질에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 챔버 내 가스 분자와의 충돌을 방지하기 위해 증발된 분자의 평균 자유 경로가 충분히 길도록 하는 열 증착 공정에 매우 중요합니다.
설명:
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열 증착에서 진공의 중요성:
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열 증착은 표면 원자가 표면을 떠나 기판에 증착할 수 있는 충분한 에너지를 얻을 때까지 진공 챔버에서 재료를 가열하는 공정입니다. 진공 환경은 증발된 원자 또는 분자가 큰 충돌 없이 소스에서 기판으로 이동하여 방향 무결성을 유지하고 코팅의 품질을 유지할 수 있도록 하기 때문에 필수적입니다.최적의 진공 수준:
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열 증착을 위한 최적의 진공 수준은 일반적으로 약 10^-5 Torr입니다. 이 압력에서 분자의 평균 자유 경로는 약 1미터이며, 이는 증발원과 기판 사이의 거리가 200mm에서 1미터인 대부분의 열 증발 설정에 충분합니다. 이렇게 하면 증발된 입자가 충돌로 인해 경로에서 크게 벗어나지 않고 거리를 이동할 수 있습니다.
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진공 시스템 설정:
최신 열 증발기는 이러한 저압을 빠르고 효율적으로 달성할 수 있는 터보 분자 펌프를 사용하는 경우가 많습니다. 이러한 펌프는 일반적으로 로터리 베인 펌프, 건식 스크롤 펌프 또는 다단계 루츠 펌프로 지원되며, 이는 챔버를 대기압에서 작동에 필요한 기본 압력으로 배출하는 데 도움이 됩니다. 이 설정은 이물질이 펌프에 떨어지는 것을 최소화하고 깨끗하고 효율적인 진공 환경을 유지하도록 설계되었습니다.
제어 및 모니터링:
