PECVD와 CVD의 주요 차이점을 알아보세요: PECVD는 플라즈마를 사용하여 저온 공정을 가능하게 하여 열에 민감한 기판에 이상적이며, CVD는 고온을 사용하여 결정질 박막을 형성합니다.
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