전자빔 증착은 특히 얇은 고밀도 코팅과 융점이 높은 재료를 사용해야 하는 응용 분야에서 열 증착에 비해 몇 가지 이점을 제공합니다.
열 증발에 비해 전자빔 증발이 갖는 7가지 주요 이점
1. 높은 증착률
전자빔 증착은 열 증착보다 훨씬 빠른 0.1μm/min~100μm/min 범위의 증착 속도를 달성할 수 있습니다.
2. 고순도 필름
전자빔은 소스 재료에만 집중되어 도가니로 인한 오염 위험을 최소화합니다. 그 결과 순도가 매우 높은 필름을 얻을 수 있습니다.
3. 뛰어난 균일성
마스크와 유성 시스템을 사용할 때 전자빔 증발은 기판 전체에 걸쳐 뛰어난 균일성을 제공합니다.
4. 다양한 재료와의 호환성
전자빔 증착은 고온 금속 및 금속 산화물을 포함한 다양한 재료에 적합합니다.
5. 다층 증착
전자빔 증착을 사용하면 환기 없이 다양한 소스 재료를 사용하여 여러 층을 증착할 수 있습니다.
6. 높은 재료 활용 효율
전자빔 증착 공정은 재료 활용 효율이 높기 때문에 열 증착에 비해 증착 공정 중에 낭비되는 재료가 적습니다.
7. 고급 응용 분야에 대한 적합성 향상
전자빔 증착은 고순도와 균일성이 요구되는 고온 소재를 다루거나 다층 구조가 필요한 경우에 특히 유리합니다.
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