물리적 기상 증착(PVD)에는 고품질 박막을 만들기 위해 함께 작동하는 몇 가지 주요 공정이 포함됩니다.
PVD의 4가지 공정은 무엇인가요?
1. 증발
증착은 PVD 공정의 첫 번째 단계입니다.
여기에는 전자 또는 이온 빔과 같은 고에너지 소스를 사용하여 타겟에 충격을 가하는 과정이 포함됩니다.
이 충격은 타겟 표면에서 원자를 제거하여 효과적으로 '기화'시킵니다.
그러면 기화된 물질은 공작물이나 기판에 증착할 준비가 된 것입니다.
증발은 열 증발과 스퍼터링 등 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있습니다.
열 증발에서는 재료가 진공 조건에서 기체 상태로 가열됩니다.
스퍼터링에서는 기체 이온의 충격에 의해 원자가 타겟에서 방출됩니다.
2. 운송
원자가 기화되면 타겟에서 코팅할 기판 또는 부품으로 원자를 운반해야 합니다.
이 이동은 진공 또는 저압 기체 환경에서 발생합니다.
진공은 기화된 원자가 큰 간섭이나 충돌 없이 이동하도록 보장합니다.
이는 원자의 이동 경로와 반응성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
3. 반응
운송 단계에서 대상 물질이 금속인 경우 선택한 기체와 반응할 수 있습니다.
이러한 가스는 원하는 코팅 유형에 따라 산소, 질소 또는 메탄을 포함할 수 있습니다.
반응은 기판에 원하는 화합물이 형성되도록 제어된 조건에서 이루어집니다.
예를 들어 금속 산화물, 질화물 또는 탄화물이 생성될 수 있습니다.
4. 증착
마지막 단계는 기화된 원자가 기판 위에 응축 및 핵 형성되는 과정입니다.
이 과정을 통해 기판 표면에 얇은 필름이 형성됩니다.
증착 공정은 코팅에서 원하는 특성을 얻기 위해 매우 중요합니다.
이러한 특성에는 두께, 균일성, 기판에 대한 접착력 등이 포함됩니다.
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