열 증발은 고진공 환경에서 재료의 박막을 적용하는 데 사용되는 공정입니다.
이 방법은 재료가 증발할 때까지 가열한 다음 기판 위에 응축하는 것입니다.
일반적으로 다양한 용도의 코팅 및 박막 제조에 사용됩니다.
열 증발의 예는 무엇인가요? (4가지 주요 단계 설명)
1. 재료 가열하기
열 증착에서는 증착할 재료를 고온으로 가열합니다.
이는 일반적으로 내화성 금속 소자를 통한 줄 가열(저항성 증착) 또는 고에너지 전자의 집속 빔(전자 빔 증착)을 직접 사용하여 수행됩니다.
가열 방법의 선택은 재료의 특성과 원하는 증착 특성에 따라 달라집니다.
2. 고진공 환경에서의 증발
가열 과정에서 재료가 증발하여 증기압이 발생합니다.
고진공 환경에서는 증기가 다른 원자와 반응하거나 산란하지 않고 이동할 수 있습니다.
이러한 환경은 증기 흐름이 순수하게 유지되고 간섭 없이 기판에 도달할 수 있도록 보장하는 데 매우 중요합니다.
3. 기판의 응축
증발된 물질은 진공 챔버를 통과하여 기판에 응축되어 얇은 막을 형성합니다.
이 필름은 용도에 따라 다양한 재료로 구성될 수 있습니다.
기판은 유리 조각부터 반도체 웨이퍼까지 다양하며, 박막은 내구성 향상, 전도성 향상, 광학 특성 변경 등 다양한 용도로 사용될 수 있습니다.
4. 응용 분야 및 장점
열 증착은 가장 오래된 진공 코팅 기술 중 하나이며 단순하고 전력 소비가 적은 것으로 알려져 있습니다.
특히 증기 상태에서 안정적으로 유지될 수 있는 재료를 증착하는 데 유용합니다.
이 기술은 전자빔 증착과 같은 발전으로 내화성 물질을 증착할 수 있게 되었고 플라즈마를 사용하여 반응성 증착으로 기술을 확장하는 등 수년에 걸쳐 개선되었습니다.
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