금속의 기상 증착은 기판 위에 얇은 금속 층을 증착하는 데 사용되는 공정입니다.
이 공정은 일반적으로 진공 환경에서 이루어집니다.
금속을 증기 상태로 변환한 다음 기판 표면에 응축하여 얇은 필름을 형성합니다.
기상 증착에는 물리적 기상 증착(PVD)과 화학 기상 증착(CVD)의 두 가지 주요 유형이 있습니다.
5가지 핵심 사항 설명
1. 물리적 기상 증착(PVD)
PVD에서는 열역학적 또는 전기기계적 공정을 통해 금속이 여기됩니다.
이로 인해 금속이 특정 분자를 증기로 방출합니다.
그런 다음 증기가 기판 위에 증착됩니다.
일반적인 PVD 기술에는 진공 열 증착, 스퍼터링 증착, 전자빔 증착이 있습니다.
진공 열 증발은 진공 상태에서 금속을 끓는점까지 가열하는 것입니다.
이렇게 하면 금속이 증발하여 기판 위에 증착됩니다.
스퍼터링 증착은 금속으로 만든 타겟에 고에너지 입자를 쏘아 증착하는 방식입니다.
이렇게 하면 원자가 방출되어 기판 위에 증착됩니다.
전자빔 증착은 전자빔을 사용하여 금속을 가열합니다.
이로 인해 금속이 증발하여 기판 위에 증착됩니다.
2. 화학 기상 증착(CVD)
CVD는 금속의 증기상을 생성하기 위한 화학 반응을 포함합니다.
이 공정에 사용되는 화학 물질은 기판 표면에서 분해됩니다.
그 결과 금속 필름이 증착됩니다.
CVD를 사용하면 증착된 필름의 위상과 구조를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
따라서 다양한 애플리케이션에 다양하게 활용할 수 있습니다.
3. 응용 분야
금속의 기상 증착은 다양한 응용 분야에서 사용됩니다.
여기에는 반도체 제조, 광섬유 시스템, 산업용 레이저 시스템, 의료 전자기기, 생체 의료 기기, 고급 광학 및 이미징 애플리케이션, 다양한 소비자, 상업용 및 산업용 전자기기 등이 포함됩니다.
4. 장점
기상 증착 시스템의 장점은 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있다는 점입니다.
또한 대량의 박막을 생산할 수 있습니다.
기상 증착 시스템의 설정과 사용은 비교적 쉽습니다.
따라서 기상 증착은 대규모 산업 응용 분야와 소규모 기업 모두에게 매력적인 옵션입니다.
5. 금속화
금속화는 얇은 금속 필름을 표면에 접착하는 과정입니다.
전통적인 전기 도금 기술은 수세기 동안 사용되어 왔지만, 기상 증착 기술은 다양한 캐리어 표면에 얇은 금속 층을 증착하는 보다 현대적인 접근 방식을 제공합니다.
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