진공 튜브 퍼니스는 제어 또는 진공 환경에서 고온 공정을 위해 설계된 특수 가열 장치입니다.
일반적으로 석영 또는 알루미나로 만들어진 원형 가열 챔버로 구성되며, 이 챔버는 밀폐되어 있고 특정 가스로 배출하거나 채울 수 있습니다.
퍼니스에는 진공 펌프와 챔버 내에서 원하는 분위기를 유지하기 위해 필요한 피팅이 장착되어 있습니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 설계 및 구성
진공관 퍼니스는 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 수평, 수직, 다각, 솔리드, 분할, 회전식 등 다양한 디자인으로 제공됩니다.
또한 단일, 이중 또는 다중 가열 구역으로 구성할 수 있어 튜브의 여러 섹션에서 보다 정밀하게 온도를 제어할 수 있습니다.
2. 응용 분야
이러한 용광로는 화학 분석, 물리적 분해, 정제, 소결, 승화, 가스 제거 및 템퍼링과 같은 공정을 위해 재료 과학, 야금 및 전자 제조에서 널리 사용됩니다.
특히 제어된 환경에서 최대 2000°C의 온도를 달성할 수 있기 때문에 결정 성장, 열처리 및 박막 증착에 유용합니다.
3. 유지보수
진공 튜브 퍼니스의 최적의 성능과 수명을 위해서는 정기적인 유지보수가 중요합니다.
유지보수를 소홀히 하면 온도 부정확성, 일관성 없는 결과, 잠재적인 안전 위험으로 이어질 수 있습니다.
주요 유지보수 작업에는 퍼니스가 원하는 온도에 도달할 수 있는지 확인하고 진공 씰의 무결성을 유지하는 것이 포함됩니다.
4. 작동 원리
진공 튜브 퍼니스의 작동 원리는 석영 또는 커런덤 튜브를 밀폐된 용기로 사용하는 것입니다.
튜브에는 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지가 장착되어 있어 단단히 밀봉됩니다.
작동 중에 실험 물질을 튜브 내부에 넣은 다음 밀봉하여 배출하거나 특정 가스로 채웁니다.
튜브는 실험에 필요한 온도로 가열됩니다.
튜브를 미리 비우고 원하는 분위기를 여러 번 도입하여 퍼니스 튜브 내의 고순도를 보장하는 것이 좋습니다.
5. 안전 주의사항
진공관로를 사용할 때는 가연성 및 부식성 가스가 없는 환경에서 작동하는 것이 중요합니다.
퍼니스 챔버에 액체 또는 용융 금속을 직접 주입하는 것은 피해야 하며 챔버를 깨끗하게 유지해야 합니다.
또한 퍼니스에는 퍼니스 도어가 열릴 때 자동으로 전원이 꺼지는 등의 안전 기능이 장착되어 있어 사용자 안전을 강화해야 합니다.
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