CVD 코팅에 사용되는 재료에는 탄화물, 질화물, 산화질소, 실리콘-산소-게르마늄 조성물, 탄화 불소, 다이아몬드, 폴리머, 그래핀, 섬유/나노 섬유/나노 튜브, Ti 및 W와 같은 다양한 화합물과 형태가 있으며 단결정, 다결정 및 비정질을 포함한 다양한 미세 구조로 증착할 수 있습니다.
탄화물, 질화물 및 산화질소: 이러한 재료는 높은 경도와 열 안정성으로 인해 CVD 공정에 일반적으로 사용되며, 내마모성과 내식성이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 예를 들어, 질화 티타늄(TiN)과 텅스텐 카바이드(WC)는 절삭 공구와 내마모성 코팅에 자주 사용됩니다.
실리콘-산소-게르마늄(Si-O-Ge) 조성물: 이러한 재료는 반도체 특성으로 인해 전자제품에 사용됩니다. CVD 공정을 통해 이러한 층의 구성과 두께를 정밀하게 제어할 수 있으며, 이는 전자 기기의 성능에 매우 중요한 요소입니다.
탄소 형태: CVD는 탄화불소, 다이아몬드, 폴리머, 그래핀, 탄소 나노튜브 등 다양한 형태의 탄소를 증착하는 데 사용됩니다. 불소 탄소는 낮은 마찰과 달라붙지 않는 특성으로, 다이아몬드는 높은 경도와 열전도율로, 폴리머는 유연성과 전기 절연성으로, 그래핀은 높은 전기 전도성과 강도로, 탄소 나노 튜브는 뛰어난 강도와 전기적 특성으로 각 재료마다 독특한 특성을 가지고 있습니다.
Ti 및 W와 같은 금속 티타늄(Ti)과 텅스텐(W)은 강도와 부식에 대한 저항성 때문에 CVD에 사용됩니다. 이러한 금속은 내구성과 생체 적합성이 중요한 항공우주 및 의료 분야에서 자주 사용됩니다.
미세 구조: 증착된 재료의 미세 구조는 CVD 공정 파라미터를 통해 제어할 수 있습니다. 단결정 구조는 고도로 정렬되어 있으며 높은 전기 전도성과 투명성이 요구되는 응용 분야에 사용됩니다. 다결정 구조는 더 일반적이며 우수한 기계적 및 전기적 특성으로 인해 다양한 애플리케이션에 사용됩니다. 비정질 구조는 장거리 질서가 부족하고 유연성과 투명성이 필요한 곳에 자주 사용됩니다.
응용 분야: CVD의 다용도성 덕분에 생체 의료 기기 임플란트, 회로 기판, 내구성 있는 윤활 코팅, 고성능 전자 제품 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 나노미터에서 미크론까지 박막을 증착할 수 있기 때문에 최종 제품의 특성을 정밀하게 제어할 수 있어 CVD는 현대 제조에서 중요한 기술로 자리 잡았습니다.
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