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스퍼터링 시스템을 사용하여 알루미늄(Al) 증착을 위한 캐리어 가스로 일반적으로 사용되는 가스는 아르곤(Ar) 가스입니다. 아르곤 가스는 일반적으로 스퍼터링 챔버에서 스퍼터링 가스로 사용되며, 알루미늄과 같은 타겟 물질을 폭격하는 플라즈마를 생성하여 물질의 원자를 진공으로 방출합니다. 그런 다음 알루미늄 타겟의 원자가 기판 위에 증착되어 알루미늄 박막을 형성합니다. 아르곤 가스는 불활성이며 대상 물질과 화학적으로 반응하지 않기 때문에 운반 가스로 선호됩니다. 또한 아르곤의 원자량은 알루미늄과 비슷하여 스퍼터링 공정 중에 효율적인 모멘텀 전달이 가능합니다.
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리튬 알루미늄 합금(AlLi) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립
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질화알루미늄(AlN) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립
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붕화알루미늄(AlB2) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립
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고순도 산화알루미늄(Al2O3) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립
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알루미늄 실리콘 이트륨 합금(AlSiY) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립
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