스퍼터링 시스템을 이용한 알루미늄(Al) 증착의 경우, 일반적으로 아르곤(Ar) 가스를 캐리어 가스로 선택합니다.
아르곤 가스는 스퍼터링 챔버 내의 스퍼터링 가스로 널리 사용됩니다.
이 가스는 알루미늄과 같은 대상 물질에 폭격을 가하는 플라즈마를 생성합니다.
폭격은 알루미늄 타겟에서 진공으로 원자를 방출합니다.
그런 다음 이 알루미늄 원자가 기판 위에 증착되어 박막을 형성합니다.
아르곤 가스는 불활성이고 표적 물질과 화학적으로 반응하지 않기 때문에 운반 가스로 선호됩니다.
또한 아르곤의 원자량은 알루미늄의 원자량에 가깝습니다.
이러한 원자량의 유사성 덕분에 스퍼터링 공정 중에 효율적인 모멘텀 전달이 가능합니다.
스퍼터링 시스템을 사용하여 알루미늄 증착을 위한 캐리어 가스로 사용되는 가스는 무엇입니까? (3가지 요점)
1. 스퍼터링 가스로서 아르곤 가스
아르곤 가스는 스퍼터링 챔버의 스퍼터링 가스로서 표준 선택입니다.
2. 플라즈마 생성 및 타겟 폭격
아르곤 가스는 알루미늄 타겟에 폭격을 가하는 플라즈마를 생성합니다.
이 폭격은 알루미늄 원자를 진공으로 방출합니다.
3. 효율적인 운동량 전달
아르곤의 원자량은 알루미늄의 원자량에 가깝기 때문에 스퍼터링 공정 중에 효율적인 운동량 전달이 용이합니다.
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