물리적 기상 증착(PVD)은 다양한 산업 분야에서 널리 사용되는 박막 제작에 중요한 기술입니다.
3가지 주요 방법 설명
1. 스퍼터링
스퍼터링은 대상 물질에 고에너지 전하를 가하는 공정입니다.
이렇게 하면 원자나 분자가 "스퍼터링"되어 기판 위에 증착됩니다.
이 방법에는 이온 빔 보조 증착, 반응성 스퍼터링 및 마그네트론 스퍼터링이 포함됩니다.
플라즈마는 소스 재료와 기판 사이에서 고전압으로 생성됩니다.
2. 열 증착
열 증발은 고진공 환경에서 코팅 재료를 끓는점까지 올리는 것을 포함합니다.
이로 인해 재료가 기화되어 진공 챔버에서 상승하는 증기 흐름을 형성합니다.
그런 다음 증기가 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.
이 과정에서 전류가 대상 물질을 가열하여 녹여 기체 상태로 증발시킵니다.
3. 전자빔 증발(전자빔 증발)
전자빔 증발은 전자빔을 사용하여 대상 물질을 가열합니다.
이로 인해 재료가 증발하여 기판에 증착됩니다.
이 방법은 열 증발과 유사하지만 전자 빔을 가열에 사용합니다.
증착 공정을 보다 정밀하게 제어할 수 있습니다.
이러한 각 방법에는 고유한 특성이 있으며 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다.
이러한 요구 사항에는 증착할 재료의 유형, 원하는 필름 특성 및 증착 챔버 내의 조건이 포함됩니다.
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