지식 물리적 증착에는 몇 가지 유형이 있나요? 3가지 주요 방법 설명
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 2 months ago

물리적 증착에는 몇 가지 유형이 있나요? 3가지 주요 방법 설명

물리적 기상 증착(PVD)은 다양한 산업 분야에서 널리 사용되는 박막 제작에 중요한 기술입니다.

3가지 주요 방법 설명

물리적 증착에는 몇 가지 유형이 있나요? 3가지 주요 방법 설명

1. 스퍼터링

스퍼터링은 대상 물질에 고에너지 전하를 가하는 공정입니다.

이렇게 하면 원자나 분자가 "스퍼터링"되어 기판 위에 증착됩니다.

이 방법에는 이온 빔 보조 증착, 반응성 스퍼터링 및 마그네트론 스퍼터링이 포함됩니다.

플라즈마는 소스 재료와 기판 사이에서 고전압으로 생성됩니다.

2. 열 증착

열 증발은 고진공 환경에서 코팅 재료를 끓는점까지 올리는 것을 포함합니다.

이로 인해 재료가 기화되어 진공 챔버에서 상승하는 증기 흐름을 형성합니다.

그런 다음 증기가 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.

이 과정에서 전류가 대상 물질을 가열하여 녹여 기체 상태로 증발시킵니다.

3. 전자빔 증발(전자빔 증발)

전자빔 증발은 전자빔을 사용하여 대상 물질을 가열합니다.

이로 인해 재료가 증발하여 기판에 증착됩니다.

이 방법은 열 증발과 유사하지만 전자 빔을 가열에 사용합니다.

증착 공정을 보다 정밀하게 제어할 수 있습니다.

이러한 각 방법에는 고유한 특성이 있으며 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다.

이러한 요구 사항에는 증착할 재료의 유형, 원하는 필름 특성 및 증착 챔버 내의 조건이 포함됩니다.

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