증발과 관련하여 원재료를 가열하는 것은 매우 중요한 단계입니다.
이를 위해 사용되는 두 가지 주요 방법은 저항 가열과 전자빔 가열입니다.
증착에서 소스 재료를 가열하는 두 가지 일반적인 방법은 무엇인가요?
1. 저항 가열
저항 가열은 발열체 또는 필라멘트를 사용하여 소스 재료를 가열하는 방식입니다.
필라멘트는 일반적으로 텅스텐, 몰리브덴, 석영 또는 흑연과 같은 재료로 만들어집니다.
금속 재료가 포함된 저항성 와이어 또는 호일을 통해 큰 전류가 통과합니다.
필라멘트가 가열되면 녹는점에 도달합니다.
이 열은 소스 재료로 전달되어 증발하거나 증기로 승화됩니다.
2. 전자빔 가열
전자빔 가열에서는 전자빔을 사용하여 소스 물질을 가열합니다.
전자빔은 전자총에 의해 생성됩니다.
이 빔은 소스 물질을 향하여 가열되어 증발 또는 승화됩니다.
전자빔 증발은 가열 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
또한 높은 증착 속도도 가능합니다.
증착 공정에는 저항 가열과 전자빔 가열이 모두 일반적으로 사용됩니다.
이 방법은 소스 재료를 고온으로 가열하여 기판 위에 기화 및 응축시킵니다.
각 방법에는 고유한 장점이 있으며 코팅 재료, 증착 속도, 코팅 품질 및 필름 두께 제어와 같은 요소에 따라 선택됩니다.
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