물리적 기상 증착(PVD)에서 가스는 기판 재료의 특성을 향상시키는 다양한 화합물을 형성하는 데 중요한 역할을 합니다.
PVD에 사용되는 3대 가스: 산소, 질소, 메탄
산소
산소는 PVD 공정에서 일반적으로 사용됩니다.
산소는 금속 원자와 반응하여 금속 산화물을 형성합니다.
이 반응은 이송 단계에서 발생합니다.
금속 산화물 형성은 내산화성 및 경도 개선이 필요한 응용 분야에 필수적입니다.
질소
질소는 PVD에 사용되는 또 다른 핵심 가스입니다.
질소는 스퍼터링과 같은 공정에서 특히 중요합니다.
대상 재료는 종종 티타늄과 같은 금속입니다.
질소와 티타늄의 반응은 질화 티타늄(TiN)을 형성합니다.
TiN은 단단하고 내마모성이 강한 화합물입니다.
이 반응은 플라즈마 환경에서 질소 가스의 존재에 의해 강화됩니다.
메탄
메탄은 탄화물을 형성하기 위해 PVD 공정에서 사용됩니다.
대상 재료가 안정적인 탄화물을 형성할 수 있는 금속일 때 특히 효과적입니다.
메탄과 금속 원자 사이의 반응은 금속 탄화물의 증착을 초래합니다.
금속 탄화물은 경도와 내마모성으로 잘 알려져 있습니다.
이 가스는 일반적으로 탄화물 형성이 유리한 특정 응용 분야에서 사용됩니다.
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