PVD 코팅에는 주로 아르곤과 같은 희귀 가스와 질소, 산소, 메탄과 같은 반응성 가스 등 다양한 가스가 사용됩니다. 이러한 가스는 특정 물리적, 구조적, 마찰학적 특성을 가진 박막을 형성하는 데 필수적입니다.
스퍼터링 공정에서의 아르곤 가스:
아르곤은 PVD 코팅의 한 방법인 스퍼터링 공정에서 가장 일반적으로 사용되는 가스입니다. 이 희귀 가스는 화학적으로 반응하지 않고 대상 물질에서 원자를 제거하기에 충분한 원자량 때문에 선택됩니다. 스퍼터링 공정에는 플라즈마 매체에서 대상 물질에 이온을 발사하는 과정이 포함되며, 여기서 아르곤은 대상에서 기판으로 물질을 쉽게 전달할 수 있는 매체로 작용합니다.PVD 코팅의 반응성 가스:
금속 증착 시 진공 챔버에는 희귀 가스 외에도 반응성 가스가 유입됩니다. 이러한 가스에는 질소, 산소, 메탄이 포함됩니다. 이러한 가스를 사용하면 금속 산화물, 질화물 및 탄화물과 같은 다양한 화합물 코팅 조성물을 만들 수 있습니다. 예를 들어, 금속 이온이 이송 단계에서 질소 또는 산소와 반응하면 각각 질화물 또는 산화물을 형성하는데, 이는 경도와 내마모성이 뛰어난 것으로 알려져 있습니다.
PVD 코팅에서 가스의 역할:
