증발 재료는 증발이라는 과정을 통해 표면에 박막이나 코팅을 형성하는 데 사용되는 물질입니다. 이러한 물질은 기화될 때까지 고온으로 가열됩니다. 진공 환경에서는 기화된 물질이 물체 표면(일반적으로 기판)으로 직접 이동하여 응축되어 박막을 형성합니다. 이 과정은 오염을 방지하고 원하는 물질만 코팅을 형성하도록 하기 위해 진공 챔버 내에서 이루어집니다.
증착 재료의 순도 수준은 일반적으로 특정 용도에 따라 99.9%에서 99.99999%까지 다양합니다. 고순도는 생산된 박막의 품질과 성능에 직접적인 영향을 미치기 때문에 매우 중요합니다.
증착 재료로 사용되는 재료의 예로는 순수 금속, 안티몬화물, 비소, 붕화물, 탄화물, 불화물, 질화물, 산화물, 셀렌화물, 규화물, 황화물, 텔루라이드 등이 있습니다. 이러한 물질은 청크, 포일, 펠릿, 와이어, 막대, 샷, 슬러그 등 다양한 형태로 제공되므로 증발 공정에서 효율적으로 사용할 수 있습니다.
일반적인 열 증발 기술에는 저항 가열 증발, 전자빔 증발, 플래시 증발, 유도 가열 증발이 있습니다. 각 방법에는 도가니에서 저항 가열, 전자 빔을 재료에 집중, 고전류 펄스를 사용하여 재료를 빠르게 가열 또는 유도 가열을 통해 재료에 전류를 유도하여 증발 물질을 기화점까지 가열하는 방식이 포함됩니다.
증발 과정, 특히 저항 열 증발 과정에서는 재료의 증기압이 주변 환경의 증기압을 초과하도록 진공 환경이 필요합니다. 필수 장비에는 진공 시스템, 전기 에너지 공급원, 일반적으로 내화성 금속으로 만든 '보트' 모양의 저항 소자가 포함됩니다. 이 설정을 통해 전원이 공급되면 열이 발생하여 재료가 기화되고 이후 기판에 박막이 형성됩니다.
는 열 증발에 적합한 원소, 합금, 복합재, 금속, 세라믹, 서멧, 내화물 등 다양한 벌크 형태로 제공되는 광범위한 소재를 제공합니다. 이러한 재료는 분말 야금(PM) 또는 진공 용융(VM) 등의 기술을 사용하여 생산되며 화학 및 미량 원소 조성을 자세히 설명하는 분석 인증서와 함께 제공됩니다.
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