Mpcvd의 주파수는 2.45GHz입니다. 이 주파수는 MPCVD 시스템의 마이크로파 발생기가 작동하는 주파수입니다. 마이크로파 방사선은 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하는 데 사용되어 다이아몬드 증착에 이상적인 환경을 조성합니다. 플라즈마의 전자는 마이크로파의 에너지를 흡수하여 최대 5273K의 온도에 도달합니다. 이 방식에 가장 일반적으로 사용되는 마이크로파 주파수는 2.45GHz와 915MHz입니다.
MPCVD 방식은 다른 다이아몬드 합성 방식에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. DC-PJ CVD 방식에 비해 MPCVD는 마이크로파 출력을 부드럽고 지속적으로 조정하고 반응 온도를 안정적으로 제어할 수 있습니다. 이는 아크 및 화염 실패로 인해 결정 씨앗이 기판에서 떨어지는 문제를 방지하는 데 도움이 됩니다. 반응 챔버의 구조를 조정하고 마이크로파 출력과 압력을 제어함으로써 고품질의 대형 단결정 다이아몬드 생산에 필요한 넓은 면적의 안정적인 방전 플라즈마를 얻을 수 있습니다. 따라서 MPCVD 방식은 산업 응용 분야에서 가장 유망한 다이아몬드 합성 방법으로 간주됩니다.
다이아몬드 합성에서의 장점 외에도 MPCVD 방법은 그래핀 제조와 같은 다른 응용 분야에서도 사용됩니다. 박막 셀 생산 시스템을 위한 MPECVD 챔버 설계에는 2.45GHz의 주파수가 사용됩니다. 챔버의 슬롯 배치는 공진 모드에 영향을 미치며, 중간 및 하단 위치는 각각 2.45GHz에서 TE111 및 TM011 모드를 생성합니다.
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