MPCVD의 주파수는 2.45GHz입니다. 이 주파수는 MPCVD 시스템의 마이크로파 발생기가 작동하는 주파수입니다.
마이크로파 방사선은 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하는 데 사용되어 다이아몬드 증착에 이상적인 환경을 조성합니다.
플라즈마의 전자는 마이크로웨이브 방사선의 에너지를 흡수하여 최대 5273K의 온도에 도달합니다.
이 방식에 가장 일반적으로 사용되는 마이크로파 주파수는 2.45GHz와 915MHz입니다.
MPCVD의 주파수는 무엇인가요? (4가지 핵심 포인트 설명)
1. MPCVD의 작동 주파수
MPCVD의 주파수는 2.45GHz입니다. 이것은 MPCVD 시스템의 마이크로파 발생기가 작동하는 주파수입니다.
2. 플라즈마 생성
마이크로파 방사선은 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하는 데 사용되어 다이아몬드 증착에 이상적인 환경을 조성합니다.
3. 전자 온도
플라즈마의 전자는 마이크로파 방사선의 에너지를 흡수하여 최대 5273K의 온도에 도달합니다.
4. 일반적인 마이크로파 주파수
이 방식에 가장 일반적으로 사용되는 마이크로파 주파수는 2.45GHz와 915MHz입니다.
5. MPCVD의 장점
MPCVD 방법은 다른 다이아몬드 합성 방법에 비해 몇 가지 장점이 있습니다.
DC-PJ CVD 방식에 비해 MPCVD는 마이크로파 출력을 부드럽고 지속적으로 조정하고 반응 온도를 안정적으로 제어할 수 있습니다.
이는 아크 및 화염 실패로 인해 결정 씨앗이 기판에서 떨어지는 문제를 방지하는 데 도움이 됩니다.
반응 챔버의 구조를 조정하고 마이크로파 출력과 압력을 제어함으로써 고품질의 대형 단결정 다이아몬드 생산에 필요한 넓은 면적의 안정적인 방전 플라즈마를 얻을 수 있습니다.
따라서 MPCVD 방법은 산업 응용 분야에서 가장 유망한 다이아몬드 합성 방법으로 간주됩니다.
6. MPCVD의 다른 응용 분야
다이아몬드 합성에서의 장점 외에도 MPCVD 방법은 그래핀 제조와 같은 다른 응용 분야에서도 사용됩니다.
박막 셀 생산 시스템을 위한 MPECVD 챔버 설계에는 2.45GHz의 주파수가 사용됩니다.
챔버의 슬롯 배치는 공진 모드에 영향을 미치며, 중간 및 하단 위치는 각각 2.45GHz에서 TE111 및 TM011 모드를 생성합니다.
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