스퍼터 코팅은 표면에 얇은 금속 층을 증착하는 공정입니다.
이러한 코팅 재료의 입자 크기는 사용되는 금속에 따라 달라질 수 있습니다.
금과 은과 같은 금속의 경우 입자 크기는 일반적으로 5~10나노미터(nm) 사이입니다.
금은 전기 전도성이 뛰어나기 때문에 스퍼터 코팅에 일반적으로 사용됩니다.
그러나 금은 스퍼터링에 일반적으로 사용되는 다른 금속에 비해 입자 크기가 더 큽니다.
입자 크기가 크기 때문에 금은 고해상도 코팅이 필요한 응용 분야에는 적합하지 않습니다.
반면 금-팔라듐 및 백금과 같은 금속은 입자 크기가 더 작습니다.
이러한 작은 입자 크기는 고해상도 코팅을 구현하는 데 유리합니다.
크롬과 이리듐 같은 금속은 입자 크기가 더욱 작아 매우 미세한 코팅에 이상적입니다.
이러한 금속은 고진공 스퍼터링 시스템, 특히 터보 분자 펌핑 시스템을 사용해야 합니다.
주사 전자 현미경(SEM) 애플리케이션에서 스퍼터 코팅을 위한 금속 선택은 매우 중요합니다.
이는 얻은 이미지의 해상도와 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.
코팅 공정에는 비전도성 또는 저전도성 시편에 초박막 금속 층을 증착하는 과정이 포함됩니다.
이는 전하를 방지하고 이차 전자의 방출을 향상시킵니다.
그 결과 SEM 이미지의 신호 대 잡음비와 선명도가 향상됩니다.
코팅 재료의 입자 크기는 이러한 특성에 큰 영향을 미칩니다.
입자가 작을수록 일반적으로 고해상도 이미징에서 더 나은 성능을 보입니다.
요약하면, SEM 애플리케이션용 스퍼터 코팅의 입자 크기는 일반적으로 금과 은의 경우 5-10nm 범위입니다.
금-팔라듐, 백금, 크롬, 이리듐과 같은 금속을 통해 더 작은 입자 크기를 사용할 수 있는 옵션이 있습니다.
선택은 이미징 해상도의 특정 요구 사항과 스퍼터링 시스템의 기능에 따라 달라집니다.
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