HDP 증착 공정, 특히 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착(HDP-CVD)은 반도체 산업에서 저온에서 박막을 증착하는 데 사용되는 정교한 기술입니다.
이 공정은 특히 마이크로 전자 장치의 트렌치와 구멍을 채우는 데 효과적이며, 필름의 품질과 신뢰성을 향상시킵니다.
HDP 증착 공정이란 무엇인가요? 4가지 핵심 사항 설명
1. 고밀도 플라즈마 활용
HDP-CVD는 일반적으로 유도 결합 플라즈마(ICP) 소스에서 생성되는 고밀도 플라즈마를 활용합니다.
이 플라즈마 소스는 반응 챔버 외부에 위치하여 전극 재료로 인한 오염 위험을 줄입니다.
플라즈마의 밀도가 높기 때문에 반응 속도가 향상되고 전구체를 보다 효율적으로 분해할 수 있어 필름 품질이 향상됩니다.
2. 동시 증착 및 에칭
HDP-CVD의 주요 혁신 중 하나는 동일한 챔버에서 증착과 에칭을 동시에 수행할 수 있다는 점입니다.
이 이중 기능은 보이드나 핀치 오프 없이 높은 종횡비 간격을 채우는 데 매우 중요합니다.
에칭 공정은 과도한 재료를 제거하고 필름 두께와 균일성을 정밀하게 제어하는 데 도움이 됩니다.
3. 다목적성 및 비용 효율성
HDP-CVD 시스템은 플라즈마 에칭을 위해 ICP-RIE(유도 결합 플라즈마 반응성 이온 에칭) 시스템으로 전환할 수 있습니다.
이 이중 기능 덕분에 증착과 에칭을 위한 별도의 장비가 필요하지 않으므로 반도체 제조 시설에 더욱 경제적인 선택이 됩니다.
4. 응용 분야 및 재료
HDP-CVD는 일반적으로 도핑 및 비도핑 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 기타 마이크로 전자 소자 제조에 중요한 재료를 증착하는 데 사용됩니다.
증착 온도가 낮기 때문에 온도에 민감한 기판을 코팅하는 데 적합하며, 기본 구조의 무결성을 보장합니다.
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