확산 펌프의 작동 범위는 일반적으로 1 x 10-3 토르에서 5 x 10-9 토르까지입니다. 즉, 이 범위 내에서 고진공을 생성할 수 있습니다. 디퓨전 펌프는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어난 것으로 알려져 있습니다. 확산 펌프의 작동은 확산 펌프 오일과 히터라는 두 가지 주요 요소에 의존합니다. 히터는 오일을 가열하여 오일을 기화시켜 상승시킵니다. 그런 다음 상승하는 오일 증기는 제트 개구부가 있는 수직으로 가늘어지는 스택에서 압축되어 공기를 포집하는 증기 우산을 생성합니다.
퍼니스 성능 측면에서 확산 펌프 퍼니스는 10-6 토르 범위의 궁극적인 진공을 달성할 수 있습니다. 확산 펌프의 작동 진공은 일반적으로 10-5 토르 범위입니다. 고진공 크로스오버에 도달하기 위한 펌프 다운 시간은 약 10분이고, 1 x 10-4 Torr에 도달하기 위한 펌프 다운 시간은 약 15분입니다. 적절한 작동을 위해서는 퍼니스 누출률이 시간당 5미크론 미만이어야 합니다.
확산 펌프의 진공 시스템 구성 요소에는 일반적으로 진공의 초기 단계로 기계식 펌프 또는 기계식 펌프/송풍기 유형 시스템이 포함됩니다. 20 토르 이하의 압력에서는 기계식 펌프의 효율이 떨어지기 시작하여 부스터 펌프가 사용됩니다. 확산 펌프는 10~1미크론 사이의 펌핑 시스템으로 활성화되어 시스템이 고진공 이하로 펌프 다운할 수 있도록 합니다. 확산 펌프에는 움직이는 부품이 없으며 오일을 기화시켜 응축하고 펌핑 시스템을 통해 가스 분자를 추출하는 방식으로 작동합니다. 홀딩 펌프는 확산 펌프 내의 오일이 용기로 빠져나가는 것을 방지하기 위해 포트라인 내에서 더 큰 압력을 생성하는 데 사용됩니다.
확산 펌프의 유지보수에는 적절한 수준의 오일을 확보하고 히터가 작동하는지 확인하는 것이 포함됩니다. 가열 요소는 일반적으로 펌프의 나사산 스터드를 사용하여 클램핑 플레이트와 정렬되는 크러시 플레이트에 의해 보일러 플레이트에 고정되는 관형 요소입니다. 효율적인 작동을 위해서는 적절한 정렬이 중요합니다.
전반적으로 확산 펌프는 내구성, 신뢰성 및 높은 진공 수준을 생성하는 능력으로 인해 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 산업 응용 분야에서 널리 사용됩니다.
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