스퍼터 코팅은 기판에 얇은 기능성 코팅을 적용하는 데 사용되는 물리적 기상 증착(PVD) 공정입니다. 이 공정은 이온에 의한 충격으로 대상 표면에서 물질이 방출되어 기판에 코팅층으로 응축되는 증기 구름을 생성하는 과정을 포함합니다. 이 기술은 매끄러운 특성과 코팅 두께의 높은 제어력으로 인해 다양한 산업에서 장식용 하드 코팅 및 마찰 코팅에 널리 사용됩니다.
스퍼터 코팅의 공정:
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챔버 준비:
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공정은 챔버를 비워 거의 모든 분자를 제거하여 깨끗한 환경을 조성하는 것으로 시작됩니다. 그런 다음 증착할 재료에 따라 아르곤, 산소 또는 질소와 같은 공정 가스로 챔버를 다시 채웁니다.스퍼터링 공정 시작:
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마그네트론 음극인 대상 물질에 음의 전위가 가해집니다. 챔버 본체는 양극 또는 접지 역할을 합니다. 이 설정은 챔버에 플라즈마 환경을 조성합니다.
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표적 물질 방출:
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표적 물질에 고전압이 가해지면 글로우 방전이 발생하여 이온이 표적 표면을 향해 가속됩니다. 이러한 이온이 타겟에 충돌하면 스퍼터링이라는 공정을 통해 표면에서 재료를 방출합니다.코팅 증착:
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방출된 대상 물질은 대상에서 기판 쪽으로 이동하는 증기 구름을 형성합니다. 기판에 도달하면 응축되어 얇은 코팅층을 형성합니다. 이 층은 원자 수준에서 기판과 강력하게 결합하여 단순히 도포된 코팅이 아니라 기판의 영구적인 일부가 됩니다.개선 및 변형:
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경우에 따라 질소 또는 아세틸렌과 같은 반응성 가스를 추가로 사용하여 반응성 스퍼터링으로 알려진 공정에서 배출된 물질과 반응합니다. 이 방법을 사용하면 산화물 코팅을 포함한 다양한 코팅이 가능합니다.
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적용 분야 및 장점장식용 하드 코팅:
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스퍼터 기술은 매끄러운 특성과 높은 내구성으로 인해 Ti, Cr, Zr 및 질화 탄소와 같은 코팅에 유리합니다.
마찰 코팅:
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자동차 시장에서 CrN, Cr2N과 같은 코팅과 다양한 조합의 다이아몬드 라이크 카본(DLC) 코팅에 널리 사용되어 부품의 성능과 수명을 향상시킵니다.
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코팅 두께의 높은 제어:
정밀한 두께 제어가 필요한 광학 코팅 생산에 필수적입니다.
매끄러운 코팅:
