스퍼터 코팅은 다양한 소재에 얇고 기능적인 코팅을 적용하는 데 사용되는 방법입니다.
이 기술은 물리적 기상 증착(PVD)으로 알려진 더 큰 공정 그룹의 일부입니다.
이 공정은 아르곤 가스로 채워진 진공 챔버를 사용합니다.
이 챔버에서 이온은 대상 물질을 향해 가속되어 기판에 코팅을 형성하고 배출됩니다.
그 결과 원자 수준에서 강력한 결합이 이루어집니다.
스퍼터 코팅 기술이란 무엇인가요? 5가지 핵심 포인트 설명
1. 공정 시작
스퍼터 코팅 공정은 스퍼터링 캐소드를 전기적으로 충전하는 것으로 시작됩니다.
이렇게 하면 일반적으로 진공 챔버 내에서 아르곤 가스를 사용하여 플라즈마가 생성됩니다.
기판에 코팅할 대상 물질이 음극에 부착됩니다.
2. 이온 폭격
고전압이 가해져 글로우 방전이 발생합니다.
이 방전은 일반적으로 아르곤과 같은 이온을 타겟 표면으로 가속합니다.
이 이온이 타겟에 충돌하여 스퍼터링이라는 공정을 통해 물질이 방출됩니다.
3. 기판 위에 증착
방출된 타겟 물질은 기판 쪽으로 이동하는 증기 구름을 형성합니다.
기판에 닿으면 응축되어 코팅층을 형성합니다.
질소 또는 아세틸렌과 같은 반응성 가스를 도입하여 이 공정을 향상시켜 반응성 스퍼터링으로 이어질 수 있습니다.
4. 스퍼터 코팅의 특성
스퍼터 코팅은 부드러움과 균일성으로 잘 알려져 있습니다.
전자, 자동차, 식품 포장 등 다양한 응용 분야에 적합합니다.
이 공정을 통해 광학 코팅에 필수적인 코팅 두께를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
5. 장점과 단점
스퍼터 기술은 RF 또는 MF 전력을 사용하여 비전도성 재료를 코팅할 수 있는 등의 장점을 제공합니다.
또한 우수한 층 균일성과 물방울 없이 매끄러운 코팅을 제공합니다.
하지만 다른 방식에 비해 증착 속도가 느리고 플라즈마 밀도가 낮다는 단점이 있습니다.
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