열 증발 온도는 일반적으로 섭씨 250도에서 350도 사이입니다. 이 온도 범위는 열 증발 시스템에서 원료 물질을 가열하여 고체 상태에서 증기로 전환하는 데 사용됩니다. 열 증발에 필요한 온도는 주변 조건에서의 증발 또는 승화 온도와 동일하지 않다는 점에 유의하는 것이 중요합니다. 열 증발 과정은 진공 조건에서 수행되므로 더 낮은 온도에서 재료의 증기를 방출할 수 있습니다.
재료마다 열 증발에 필요한 온도가 다릅니다. 예를 들어 금은 표준 조건에서 끓는점이 섭씨 2700도로 훨씬 높지만 진공 조건에서는 섭씨 950도 정도의 온도에서 증발할 수 있습니다. 다양한 재료에 필요한 온도는 널리 이용 가능한 표에서 확인할 수 있습니다.
열 증발이 모든 재료를 증발시키는 데 적합하지 않다는 점도 고려할 가치가 있습니다. 특정 재료, 특히 내화성 금속의 경우 전자빔 증발이 필요할 수 있습니다. 전자빔 증발은 10-5 Torr 미만의 압력으로 고진공 챔버에서 소스 재료를 가열하는 것입니다. 이러한 고진공은 소스 원자와 배경 물질 간의 충돌을 최소화하는 데 필요합니다. 열 증발은 일반적으로 섭씨 1800도 이하의 온도에서 작동하지만 전자빔 증발은 백금 증발 시 섭씨 2000도와 같이 더 높은 온도를 처리할 수 있습니다.
요약하면, 열 증발은 표면 원자가 표면을 떠나 증기를 형성하기에 충분한 에너지를 가질 때까지 진공 챔버에서 재료를 가열하는 공정입니다. 열 증발의 온도 범위는 일반적으로 섭씨 250~350도이지만, 특정 온도 요구 사항은 재료에 따라 다릅니다.
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