증발 열 공정은 증기압이 커지는 온도까지 가열하여 물질을 기화시키는 데 사용되는 방법입니다.
이 과정을 통해 진공 상태에서 원자나 분자가 재료 표면에서 손실됩니다.
재료는 증발이 일어나기 전에 액체 또는 고체 상태일 수 있습니다.
5가지 주요 단계 설명
1. 대상 물질 가열
대상 물질을 승화 또는 끓이는 방식으로 매우 높은 온도에 노출시켜 증기를 생성합니다.
2. 증기 운반
기화된 재료는 진공 환경을 통해 기판으로 이송됩니다.
3. 기판에서 응축
증기가 기판 표면에 응축되어 단단한 박막을 형성합니다.
4. 공정 반복
증착 공정을 반복하여 박막의 추가 성장과 핵 형성을 달성할 수 있습니다.
5. 줄 가열 활용
이 공정은 저항성 보트의 줄 가열을 사용하여 재료를 증발점까지 가열한 다음 기화된 분자가 소스에서 기판으로 이동하여 박막 코팅을 형성합니다.
열 증발은 단순성과 다용도성 때문에 널리 사용되는 기술입니다.
알루미늄, 은, 니켈, 크롬, 마그네슘 등 다양한 소재를 증착하는 데 사용할 수 있습니다.
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