증발의 열 공정은 증기압이 감지할 수 있는 온도로 가열하여 물질을 기화시키는 것을 포함합니다. 이로 인해 진공 상태의 재료 표면에서 원자 또는 분자가 손실됩니다. 재료는 증발이 일어나기 전에 액체 또는 고체 상태일 수 있습니다.
열 증발이 진행되는 동안 재료는 가열되고 충분히 높은 온도에 도달하면 증발합니다. 그런 다음 증발된 물질은 기판에 얇은 필름으로 응축됩니다. 기판은 응축 과정을 용이하게 하기 위해 소스 재료보다 낮은 온도로 유지됩니다.
열 증발 과정은 일반적으로 고체 물질의 표면에 박막을 형성하고 성장시키는 데 사용됩니다. 박막 증착을 위해 실험실과 산업 환경 모두에서 여전히 널리 사용되고 있습니다. 열 증발과 관련된 기본 단계는 다음과 같습니다:
1. 대상 물질을 승화 또는 끓이는 방식으로 매우 높은 온도에 노출시켜 증기를 생성합니다.
2. 기화된 재료는 진공 환경을 통해 기판으로 이송됩니다.
3. 증기는 기판 표면에서 응축되어 단단한 박막을 형성합니다.
4. 증착 공정을 반복하여 박막의 추가 성장과 핵 형성을 달성할 수 있습니다.
열 증착은 단순성과 다용도성 때문에 널리 사용되는 기술입니다. 알루미늄, 은, 니켈, 크롬, 마그네슘 등 다양한 소재를 증착하는 데 사용할 수 있습니다. 이 공정은 저항성 보트의 줄 가열을 사용하여 재료를 증발점까지 가열한 다음 기화된 분자가 소스에서 기판으로 이동하여 박막 코팅을 형성하는 방식입니다.
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