물리적 기상 증착(PVD)은 다양한 재료를 사용하여 기판에 박막을 만드는 작업입니다.
PVD에는 어떤 재료가 사용되나요? (3가지 주요 유형 설명)
1. 금속 및 합금
금속과 합금은 전도성과 내구성으로 인해 PVD에 일반적으로 사용됩니다.
크롬(Cr), 금(Au), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 구리(Cu) 등이 그 예입니다.
이러한 소재는 부식에 대한 저항성, 전기 전도성 또는 기계적 강도와 같이 애플리케이션에 필요한 특정 특성에 따라 선택됩니다.
2. 금속 산화물
금속 산화물은 유전체 특성이나 습기 및 기타 환경 요인에 대한 보호막을 제공하기 위해 사용됩니다.
이산화규소(SiO2)는 반도체 및 광학 애플리케이션에 사용되는 일반적인 예입니다.
3. 복합 재료 및 화합물
복합 재료 및 화합물에는 인듐주석산화물(ITO) 및 구리-니켈(CuNi)과 같은 재료가 포함됩니다.
터치스크린과 태양전지에 사용되는 ITO의 경우 투명성 및 전도성과 같은 고유한 특성으로 인해 사용됩니다.
질화 티타늄(TiN), 질화 지르코늄(ZrN), 텅스텐 실리사이드(WSi) 같은 화합물도 절삭 공구와 장식용 코팅에 자주 사용되는 경도와 내마모성을 위해 PVD를 사용하여 증착됩니다.
증착 방법
열 증착
재료를 기화점까지 가열한 다음 기판 위에 응축시킵니다.
스퍼터 증착
대상 물질에 이온을 쏘아 원자를 방출한 다음 기판에 증착합니다.
펄스 레이저 증착(PLD)
레이저 펄스를 사용하여 재료를 기화시킨 다음 기판 위에 증착합니다.
이 방법을 사용하면 수 옹스트롬에서 수천 옹스트롬 두께에 이르는 증착된 필름의 두께와 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
재료와 증착 방법의 선택은 최종 제품의 원하는 기계적, 광학적, 화학적 또는 전자적 특성과 같은 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다.
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