스퍼터 증착은 다양한 산업 분야에서 선호되는 매우 효과적인 기술로 많은 장점을 가지고 있습니다.
알아야 할 스퍼터 증착의 5가지 주요 장점
1. 재료 증착의 다양성
스퍼터링은 원소, 합금 및 화합물을 증착할 수 있습니다.
이러한 다목적성은 스퍼터링 타겟이 제공하는 안정적이고 수명이 긴 기화 소스 덕분입니다.
타겟은 선이나 막대 또는 실린더의 표면과 같은 특정 구성에 맞게 성형할 수도 있습니다.
2. 정밀한 제어 및 고품질 필름 제작
스퍼터링 공정을 통해 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
이러한 정밀도는 일관되고 재현 가능한 결과를 보장합니다.
특히 DC 스퍼터링은 기판에 대한 접착력이 뛰어난 고품질 박막을 생산하는 것으로 유명합니다.
3. 반응 증착
스퍼터링은 반응성 증착에 능숙합니다.
반응성 기체 종은 플라즈마에서 활성화됩니다.
이 기능은 반응성 가스를 필름에 통합해야 하는 응용 분야에서 특히 유용합니다.4. 에너지 효율 및 공정 제어스퍼터링은 복사열이 거의 발생하지 않습니다.
