열 증착은 여러 가지 장점으로 인해 박막 증착에 널리 사용되는 방법입니다.
열 증착 방식의 10가지 주요 이점
1. 다양한 재료와의 호환성
열 증착은 알루미늄, 크롬, 금, 인듐과 같은 금속과 비금속을 모두 증착할 수 있습니다.
2. 저융점 재료에 적합
이 방법은 수은이나 갈륨이 포함된 합금을 포함하여 녹는점이 낮은 재료에 이상적입니다.
3. 균일성
유성 기판 고정 장치와 균일성 마스크를 사용하여 열 증발로 우수한 균일성을 보장합니다.
4. 높은 증착률
열 증착은 일반적으로 초당 50옹스트롬 미만의 높은 증착 속도를 제공합니다.
5. 우수한 방향성
증기 구름이 기판 방향으로 향하여 보다 균일하고 제어된 증착을 보장합니다.
6. 비용 효율성
다른 물리적 기상 증착(PVD) 방식에 비해 열 증착은 상대적으로 비용이 저렴합니다.
7. 단순성
PVD 방식 중 가장 복잡한 공정으로 설정, 운영 및 유지 관리가 용이합니다.
8. 이온 보조 소스와의 호환성
열 증발은 이온 보조 소스와 호환되어 밀도를 높이고 불순물을 줄여 필름 품질을 향상시킵니다.
9. 다목적성
다재다능하고 효율적이어서 다양한 산업 분야에 적합합니다.
10. 효율성
이 방법은 생산 시간을 크게 줄여주므로 처리량이 중요한 산업 분야에 이상적입니다.
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