기상 증착은 일반적으로 부분 진공 환경에서 다양한 기판에 박막 코팅을 만드는 데 사용되는 방법입니다.
이 기술은 기화된 소스에서 대상 표면에 재료를 증착하여 일관된 고순도 코팅을 생성합니다.
기상 증착에는 물리적 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD), 플라즈마 증착 등 다양한 유형이 있습니다.
5가지 주요 방법 설명
1. 물리적 기상 증착(PVD)
물리적 기상 증착(PVD)은 재료가 소스에서 방출되어 기판으로 옮겨지는 여러 증착 기술을 포괄합니다.
PVD의 일반적인 방법 중 하나는 고진공 챔버 내부에서 고체 물질을 가열하여 기화시켜 증기 구름을 형성하는 열 증발입니다.
그런 다음 증기 흐름이 챔버를 통과하여 기판 위에 박막 코팅으로 증착됩니다.
저항 증착과 같은 PVD 공정은 스퍼터링 공정에 비해 더 높은 증착 속도와 더 두꺼운 코팅으로 금속 및 비금속의 박막을 만드는 데 비용 효율적인 도구를 제공합니다.
2. 화학 기상 증착(CVD)
화학 기상 증착(CVD)은 기체 코팅 재료로 채워진 반응 챔버에 기판을 넣는 방식입니다.
가스가 대상 물질과 반응하여 원하는 코팅 두께를 생성합니다.
이 방법은 화학 반응에 의존하여 코팅을 형성하기 때문에 PVD와 구별됩니다.
3. 플라즈마 증착
플라즈마 증착은 일반적으로 고압에서 코팅 가스를 과열하여 부품의 원자 표면과 반응하는 이온 형태로 만듭니다.
이 과정을 통해 고유한 특성을 가진 코팅이 형성됩니다.
4. 아크 기상 증착
아크 기상 증착은 고전류 및 저전압에서 전기 아크를 사용하여 음극 또는 양극 전극을 기화시키는 특정 증착 공정입니다.
그런 다음 기화된 물질이 기판 위에 증착되며, 금속 원자의 상당 부분이 이온화됩니다.
이 방법은 두꺼운 코팅을 형성하는 데 특히 유용하며 단단한 장식용 표면 코팅 작업에 사용할 수 있습니다.
5. 기상 증착 요약
요약하면, 기상 증착은 다양한 기판에 박막 코팅을 생성하는 다목적 기술로, 특정 용도와 원하는 코팅 특성에 맞는 다양한 방법을 사용할 수 있습니다.
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