진공로의 분압은 전체 압력이 대기압보다 훨씬 낮은 수준으로 현저히 낮아졌을 때 퍼니스 내의 개별 가스가 가하는 압력을 말합니다. 진공로에서 목표는 산소 및 수증기와 같은 반응성 가스의 분압을 최소화하여 표면 산화를 방지하고 처리 중인 부품의 기존 산화물 분해를 촉진하는 환경을 조성하는 것입니다.
답변 요약
진공로의 분압은 전체 용광로 압력이 크게 감소할 때 개별 가스, 특히 산소 및 수증기에 의해 가해지는 압력을 말합니다. 이러한 감소는 표면 산화를 방지하고 처리되는 구성 요소의 기존 산화물의 분해를 촉진하는 데 도움이 됩니다.
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자세한 설명:잔류 공기의 분압 감소:
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초고진공 영역에서 작동하는 진공로에서는 산소와 수증기를 포함한 잔류 공기의 분압이 크게 감소합니다. 이러한 감소는 표면 산화를 최소화하거나 전혀 없이 부품을 처리할 수 있는 환경을 조성하기 때문에 매우 중요합니다. 산화는 고온 공정에서 흔히 발생하는 문제이며, 진공 상태를 통해 산소의 존재를 줄이면 재료의 무결성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
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기존 산화물 분해:
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감소된 분압은 새로운 산화물 형성을 방지할 뿐만 아니라 부품 표면의 기존 산화물 분해를 돕습니다. 이 과정은 온도와 처리되는 재료의 유형에 따라 크게 달라집니다. 더 높은 온도와 특정 재료 특성은 진공 조건에서 산화물 분해의 효과를 높일 수 있습니다.진공 레벨 제어 및 유지 관리:
진공로는 일부 공정에서는 약 500미크론에서 고진공 공정에서는 10-4 TORR 이하에 이르는 정밀한 압력 수준을 유지하도록 설계되었습니다. 진공로는 고속 확산 펌프와 로터리 베인 진공 펌프의 조합을 사용하여 이러한 낮은 압력을 달성하고 유지합니다. 이 시스템에는 진공 게이지와 제어 메커니즘이 장착되어 있어 압력이 원하는 범위 내에 유지되도록 보장합니다. 압력이 설정 포인트에서 벗어나면 압력이 수정될 때까지 온도 프로그램이 일시 중지됩니다.
