진공로의 분압은 전체 압력이 크게 감소했을 때 진공로 내의 개별 가스에 의해 가해지는 압력을 말합니다. 일반적으로 이러한 감소는 대기압보다 훨씬 낮습니다. 진공로에서는 산소 및 수증기와 같은 반응성 가스의 분압이 최소화되는 환경을 조성하는 것이 목표입니다. 이를 통해 표면 산화를 방지하고 처리 중인 부품의 기존 산화물 분해를 촉진할 수 있습니다.
진공 용광로의 분압이란 무엇인가요? (4가지 핵심 사항 설명)
1. 잔류 공기의 분압 감소
초고진공 영역에서 작동하는 진공로에서는 산소와 수증기를 포함한 잔류 공기의 분압이 크게 감소합니다. 이러한 감소는 표면 산화를 최소화하거나 전혀 없이 부품을 가공할 수 있는 환경을 조성하기 때문에 매우 중요합니다. 산화는 고온 공정에서 흔히 발생하는 문제이며, 진공 상태를 통해 산소의 존재를 줄이면 재료의 무결성을 유지하는 데 도움이 됩니다.
2. 기존 산화물 분해
감소된 분압은 새로운 산화물 형성을 방지할 뿐만 아니라 부품 표면의 기존 산화물 분해를 돕습니다. 이 과정은 온도와 처리되는 재료의 유형에 따라 크게 달라집니다. 더 높은 온도와 특정 재료 특성은 진공 조건에서 산화물 분해의 효과를 향상시킬 수 있습니다.
3. 진공 레벨 제어 및 유지 관리
진공로는 일부 공정에서는 약 500미크론에서 고진공 공정에서는 10-4 TORR 이하에 이르는 정밀한 압력 수준을 유지하도록 설계되었습니다. 진공로는 고속 확산 펌프와 로터리 베인 진공 펌프의 조합을 사용하여 이러한 낮은 압력을 달성하고 유지합니다. 이 시스템에는 진공 게이지와 제어 메커니즘이 장착되어 있어 압력이 원하는 범위 내에 유지되도록 보장합니다. 압력이 설정 포인트에서 벗어나면 압력이 수정될 때까지 온도 프로그램이 일시 중지됩니다.
4. 냉각 및 압력 제어
고온 담금 후 불활성 가스의 흐름이 증가하고 냉각수가 순환하는 방식으로 퍼니스가 냉각됩니다. 이 냉각 과정은 퍼니스의 압력을 낮추기 때문에 추가적인 압력 제어가 필요합니다. 냉각 중 압력은 특정 프로세스 유형에 따라 0.85bar에서 10bar 사이로 유지됩니다.
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