박막은 일반적으로 1마이크론 또는 수마이크론 미만의 작은 두께와 큰 표면적 대 부피 비율로 인한 고유한 물리적 특성이 특징입니다. 반면, 두꺼운 필름은 일반적으로 입자 증착에 의해 형성되며 벌크 재료와 유사한 특성을 나타낼 수 있습니다. 박막과 후막의 구분은 두께뿐만 아니라 재료의 작동 방식과 내부 길이 척도에 따라 달라집니다.
박막:
- 두께와 형성: 박막은 일반적으로 매우 얇으며 두께가 1미크론 미만인 경우가 많습니다. 박막은 증착 등을 통해 원자 또는 분자가 증착되어 형성되며, 그 결과 층상 구조가 만들어집니다. 이 구조 방식은 박막 기술이 마이크로 시스템 공정을 사용하여 세라믹 또는 유기 재료 위에 회로 기판을 생산하는 전자 제품과 같은 기술에서 매우 중요합니다.
- 속성: 박막의 특성은 두께가 얇고 표면적 대 부피 비율이 높기 때문에 벌크 재료의 특성과 크게 다릅니다. 이러한 독특한 구조는 전기적, 기계적, 광학적 특성에 영향을 미쳐 반도체, 디스플레이, 의료 기기 및 전자 제품의 다양한 응용 분야에 적합합니다.
- 측정: 박막의 두께는 중요한 파라미터이며 X선 반사 측정법(XRR), 주사 전자 현미경(SEM), 투과 전자 현미경(TEM), 타원 측정법 등의 기술을 사용하여 측정할 수 있습니다. 방법 선택은 굴절률(RI), 표면 거칠기, 필요한 특정 정보 등 재료의 특성에 따라 달라집니다.
두꺼운 필름:
- 두께 및 형성: 두꺼운 필름은 일반적으로 페인트 입자의 증착과 같은 입자 증착으로 형성됩니다. 박막과 달리 두께와 형성 방식으로 인해 동일한 고유한 특성을 나타내지 않을 수 있습니다.
- 속성: 두꺼운 필름은 특히 두께가 박막과 일반적으로 연관된 특성을 나타내지 않을 정도로 두꺼운 경우 벌크 재료처럼 작동하는 경우가 많습니다. 예를 들어, TiO2, SiO2 또는 Ta2O5의 박막과 동일한 두께의 알루미늄 필름은 박막 특성을 나타내지 않고 벌크 재료처럼 작동합니다.
결론
박막과 두꺼운 필름의 구분은 단순히 두께의 문제가 아니라 재료의 거동과 내부 길이 척도의 문제이기도 합니다. 박막은 표면 대 부피 비율이 높기 때문에 두께가 얇고 고유한 특성이 특징인 반면, 입자 증착으로 형성되는 후막은 벌크 재료처럼 행동할 수 있습니다. 필름을 얇거나 두꺼운 것으로 분류할 때는 필름의 특성과 내부 길이 척도를 모두 고려해야 합니다.
