진공로의 압력은 공정의 단계와 작업의 특정 요구 사항에 따라 크게 달라질 수 있습니다. 가열 단계에서 압력은 일반적으로 분말 공압(PP)과 같은 공정의 경우 약 500미크론, 고진공 공정의 경우 10^-4 토르 이하에서 제어됩니다. 온도가 상승하고 오염 물질의 휘발로 인해 압력이 증가하기 때문에 이 제어는 매우 중요합니다. 압력이 설정 포인트에서 벗어나면 압력이 수정될 때까지 온도 프로그램이 일시 중지됩니다.
냉각 단계에서는 고온 담금 후 불활성 가스의 증가된 흐름과 냉각수 순환을 통해 퍼니스가 냉각됩니다. 이 냉각 프로세스는 퍼니스 압력을 감소시키며, 특정 프로세스 유형에 따라 0.85 Barr에서 10 Barr 사이에서 제어해야 합니다. 냉각 중 압력 제어는 처리되는 재료의 무결성과 품질을 유지하는 데 필수적입니다.
진공로는 고속 확산 펌프와 로터리 베인 펌프를 포함한 여러 펌프의 조합을 사용하여 감압 상태에서 작동합니다. 상온에서 고온 영역의 기본 압력은 1 x 10^-6 Torr까지 낮아질 수 있습니다. 이러한 저압 환경은 고품질 금속 및 합금의 처리와 같이 최소한의 산화 또는 탈탄이 필요한 공정에 매우 중요합니다.
요약하면, 진공로의 압력은 세심하게 제어되며 가열 단계에서는 매우 낮은 수준에서 냉각 단계에서는 약간 높은 수준까지 다양하며, 모두 수행 중인 특정 재료와 공정에 맞는 최적의 조건을 보장하도록 맞춤화됩니다.
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