진공로의 압력은 실행 중인 재료와 공정에 따라 달라질 수 있습니다. 진공 열처리를 위한 일반적인 분압 설정은 65 - 200 Pa(500 - 1500 미크론) 범위입니다. 그러나 원하는 경우 설정값을 최저 13 Pa(100 마이크론) 또는 최고 665 Pa(5000 마이크론)까지 설정할 수 있습니다. 온도가 상승하고 오염 물질이 휘발하면 압력이 증가합니다. 진공 제어는 일반적으로 부분 압력 공정에서 약 500미크론, 고진공 공정에서 10-4 TORR 이하로 유지됩니다.
열처리 사이클의 냉각 단계에서는 공정 유형에 따라 압력이 0.85바에서 10바 사이에서 제어됩니다. 사이클이 완료되면 작업자가 수동으로 퍼니스를 대기압으로 되돌리고 제품을 언로드합니다.
배치식 또는 연속식 퍼니스를 포함한 다양한 진공 퍼니스 설계를 사용할 수 있습니다. 기계식 진공 펌프는 압력을 약 50미크론으로 낮추는 데 사용되며, 확산 펌프는 압력을 1미크론 이하로 낮추는 데 사용됩니다. 일부 공정에서는 아르곤과 같은 불활성 가스를 도입하여 부분 압력 열처리를 위해 압력을 약 500미크론까지 높여야 할 수도 있습니다.
전반적으로 진공로의 압력은 적절한 열처리를 보장하고 증기압으로 인한 열전대 고장과 같은 잠재적인 문제를 방지하기 위해 세심하게 제어됩니다.
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