열 증발은 고진공 환경에서 물질의 가열과 증발을 촉진하기 위해 다양한 재료와 형태를 사용하는 것을 포함합니다.
5가지 주요 구성 요소 설명
1. 열 증발 소스
열 증발 소스는 일반적으로 텅스텐, 탄탈륨 또는 몰리브덴과 같은 재료로 만들어집니다.
이러한 소스는 보트, 바스켓, 필라멘트, 코팅 막대 등의 형태로 제공됩니다.
보트는 일반적으로 사용되며 다양한 크기로 제공됩니다. 일반적으로 보트가 클수록 동일한 증착 속도에 더 높은 전력이 필요하지만 더 높은 최대 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
바스켓과 필라멘트도 사용되며, 종종 도가니를 지지하거나 증착 재료를 직접 가열합니다.
코팅 막대는 성능이나 내구성을 향상시키기 위해 알루미늄 산화물과 같은 수동 재료 코팅을 할 수 있습니다.
2. 사용되는 재료의 종류
열 증발에는 일반적으로 금, 은, 티타늄, 구리 등의 금속이 사용됩니다. 이러한 재료는 전도성, 가단성 및 부식에 대한 저항성 때문에 선택됩니다.
이산화규소와 같은 반도체는 특정 전기적 특성이 필요한 애플리케이션에 사용됩니다.
텅스텐과 몰리브덴과 같은 내화성 금속은 녹는점이 높고 강한 열에 견디는 내구성이 있기 때문에 사용됩니다.
3. 가열 기술
저항 가열 증발은 저항 가열 도가니에서 재료를 가열하고 증기가 기판에서 응축되는 방식입니다.
전자빔 증발은 재료에 집중된 전자빔을 사용하여 빠른 가열과 증발을 일으킵니다.
플래시 증발은 고전류 펄스 또는 강력한 열원을 사용하여 재료를 증발 온도까지 빠르게 가열합니다.
유도 가열 증발은 소스 재료에 전류를 유도하여 가열 및 증발을 유도합니다.
4. 프로세스 개요
열 증발은 고진공 챔버 내부의 고체 물질을 가열하여 끓고 증발하여 증기압을 생성합니다.
이 증기는 챔버를 가로질러 이동하는 구름을 형성하여 기판에 얇은 막으로 증착됩니다.
진공 환경은 증기 흐름이 다른 원자와 반응하거나 산란하지 않고 이동하도록 보장합니다.
5. 다양한 산업 분야에서의 응용
열 증착은 박막 제작의 정밀도와 신뢰성 때문에 다양한 산업에서 사용됩니다.
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