열 증발에 사용되는 재료에는 주로 고진공 환경에서 재료의 가열 및 증발을 용이하게 하도록 설계된 다양한 소스와 형태가 있습니다. 소스는 일반적으로 텅스텐, 탄탈륨 또는 몰리브덴과 같은 재료로 만들어지며 보트, 바구니, 필라멘트 및 코팅 막대와 같은 형태로 제공됩니다. 이러한 소스는 고온을 견디고 청크, 호일, 펠릿, 와이어, 막대, 샷, 슬러그 등의 형태로 증발 재료를 효과적으로 가열할 수 있도록 설계되었습니다.
열 증발 소스:
- 보트: 보트는 일반적으로 사용되며 다양한 크기로 제공됩니다. 보트가 클수록 일반적으로 동일한 증착 속도에 더 높은 전력이 필요하지만 더 높은 최대 증착 속도를 처리할 수 있습니다.
- 바스켓 및 필라멘트: 이 또한 도가니를 지지하거나 증착 재료를 직접 가열하는 데 사용됩니다.
- 코팅 막대: 성능이나 내구성을 향상시키기 위해 알루미늄 산화물과 같은 수동 재료 코팅이 되어 있을 수 있습니다.
사용되는 재료의 유형:
- 금속: 일반적으로 사용되는 금속에는 금, 은, 티타늄, 구리 등이 있습니다. 이러한 소재는 전도성, 가단성 및 부식에 대한 저항성 때문에 선택됩니다.
- 반도체: 이산화규소와 같은 재료는 특정 전기적 특성이 필요한 애플리케이션에 사용됩니다.
- 내화성 금속: 텅스텐과 몰리브덴은 녹는점이 높고 강한 열에 견디는 내구성이 뛰어나기 때문에 사용됩니다.
가열 기술:
- 저항 가열 증발: 저항 가열 도가니에서 재료를 가열하면 증기가 기판 위에 응축됩니다.
- 전자빔 증발: 전자 빔이 재료에 집중되어 빠른 가열과 증발을 일으킵니다.
- 플래시 증발: 고전류 펄스 또는 강력한 열원을 사용하여 재료를 증발 온도까지 빠르게 가열합니다.
- 유도 가열 증발: 유도 가열은 소스 재료에 전류를 유도하여 가열 및 증발을 유도합니다.
프로세스 개요:
열 증발은 고진공 챔버 내부의 고체 물질을 가열하여 끓고 증발하여 증기압을 생성합니다. 이 증기는 챔버를 가로질러 이동하는 구름을 형성하여 기판에 얇은 막으로 증착됩니다. 진공 환경은 증기 흐름이 다른 원자와 반응하거나 산란하지 않고 이동하도록 보장합니다.
이 자세한 설명은 열 증착에 사용되는 재료와 방법을 다루며 이 공정과 다양한 산업에서의 응용 분야에 대한 포괄적인 이해를 제공합니다.
