스퍼터 코터를 청소하는 것은 성능과 수명을 유지하는 데 매우 중요합니다.
다음은 이 과정을 도와주는 자세한 가이드입니다.
스퍼터 코터는 어떻게 청소하나요? - 장비를 최상의 상태로 유지하기 위한 3가지 필수 단계
1. 작업 챔버의 청결
유리 챔버 청소: 뜨거운 비눗물을 사용하여 유리 챔버를 깨끗하게 청소하세요.
완전히 건조되었는지 확인합니다.
잘 지워지지 않는 침전물이 있는 경우 주방용 수세미를 사용할 수 있습니다.
솔벤트는 불필요하고 건강과 안전에 위험을 초래할 수 있으므로 사용하지 마세요.
금속 표면 청소: 이소프로필 알코올로 금속 표면을 청소하세요.
아세톤은 건강 및 안전 위험이 있고 가스 배출 시간이 길어 진공 성능에 영향을 줄 수 있으므로 사용하지 마세요.
2. 진공 유지 관리
흡입 백 방지: 챔버가 진공 상태일 때는 항상 황삭 펌프를 코터에서 분리해야 합니다.
이는 일반적으로 수동 밸브를 사용하여 수행됩니다.
예를 들어 Quorum 고진공 스퍼터 코터에는 장비를 사용하지 않을 때 진공을 유지하여 펌프 오일로 인한 오염을 방지하는 "펌프 홀드" 기능이 있습니다.
시스템 건조 및 진공 수준: 스퍼터링 공정을 시작하기 전에 시스템이 건조하고 올바른 진공 레벨에 도달했는지 확인합니다.
이는 우수한 스퍼터링 속도를 달성하고 오염을 방지하는 데 도움이 됩니다.
펌프 유지보수: 로터리 펌프를 정기적으로 밸러스트하고 일정한 간격으로 정비하여 최적의 성능을 유지합니다.
3. 스퍼터 클리닝
물리적 스퍼터링: 진공 상태에서 물리적 스퍼터링을 사용하여 오염 물질로부터 고체 표면을 청소합니다.
이 방법은 표면 과학, 진공 증착 및 이온 도금에 일반적으로 사용됩니다.
그러나 과열, 가스 혼입, 표면 손상, 거칠기 등의 잠재적 문제에 주의해야 합니다.
스퍼터 세정 중 재오염을 방지하기 위해 플라즈마가 깨끗한지 확인하세요.
계속 탐색하고 전문가와 상담하세요
전문가의 관리로 스퍼터 코터의 잠재력을 최대한 활용하세요!
최적의 성능과 수명을 위해 정확한 세척 및 유지보수 팁을 따르세요.
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