진공로에서 누출을 테스트하기 위해 사용할 수 있는 몇 가지 방법이 있습니다:
1. 소리 감지: 한 가지 방법은 누수에서 나는 소리를 듣는 것입니다. 쉭쉭거리거나 휘파람 소리가 나면 누출이 있음을 나타낼 수 있습니다.
2. 진공 붕괴: 또 다른 방법은 솔벤트를 사용하여 누출 부위를 관통하여 진공 게이지의 진공 감쇠를 관찰하는 것입니다. 누출이 있으면 진공 레벨이 떨어집니다.
3. 헬륨 누출 감지기: 질량 분석기와 같은 헬륨 누출 감지기를 사용하는 것은 누출을 감지하는 매우 민감한 방법입니다. 헬륨 가스가 퍼니스에 유입되고 누출이 발생하면 헬륨이 빠져나가 누출 감지기로 감지할 수 있습니다.
진공로에서 누출이 감지되면 누출이 수리될 때까지 생산에 사용해서는 안 된다는 점에 유의하는 것이 중요합니다. 일반적인 관행 중 하나는 챔버를 대기 중으로 개방하지 않고 질소로 다시 채우는 것입니다. 모든 열전대 피팅과 기타 진공 공급 트러스를 조여야 합니다. 그런 다음 퍼니스의 누설률을 다시 테스트할 수 있습니다. 두 번째 누설률 테스트에 실패하면 헬륨 누설 점검을 포함한 보다 광범위한 유지보수가 필요하다는 의미입니다.
진공로에서 누출을 방지하려면 종합적인 예방 유지보수 프로그램이 필수적입니다. 여기에는 펌프, O-링 및 플랜지 씰링 표면의 적절한 관리와 진공 공급 트러스의 정기적인 점검이 포함됩니다. 공정 중 진공 수준을 지속적으로 모니터링하면 큰 수리로 이어지기 전에 잠재적인 문제를 파악하는 데 도움이 될 수 있습니다.
누설률 테스트를 수행하려면 이온 게이지에서 퍼니스를 3 x 10-5 토르와 같은 고진공 수준까지 펌핑해야 합니다. 진공 TC 게이지의 진공 레벨 수치를 기록해야 합니다. 진공 챔버를 펌프에서 분리한 후 15분 후에 진공 TC 게이지의 진공 레벨을 다시 기록해야 합니다. 초기 진공 판독값과 15분 판독값의 차이에 4를 곱하여 진공 챔버의 시간당 리크율을 계산합니다. 리크율에 대한 허용 기준은 규정 사양에 따라 다를 수 있지만 일반적으로 시간당 20미크론의 리크율은 대부분의 응용 분야에서 허용됩니다. 그러나 잘 밀폐된 용광로는 시간당 5미크론 미만의 누출률을 달성할 수 있으며, 일부는 시간당 1미크론 미만의 수준도 달성할 수 있습니다.
요약하면, 진공로의 누출 테스트는 소리 감지, 진공 붕괴 또는 헬륨 누출 감지기를 사용하여 수행할 수 있습니다. 누출로 인한 가동 중단을 최소화하려면 정기적인 예방 유지보수 및 진공 수준 모니터링이 중요합니다.
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