지식 진공로에서 누출을 어떻게 테스트합니까? (5가지 방법 설명)
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 3 months ago

진공로에서 누출을 어떻게 테스트합니까? (5가지 방법 설명)

진공로의 누출을 테스트하는 것은 진공로의 적절한 기능을 보장하고 생산 중단을 방지하기 위해 매우 중요합니다.

진공로에서 누출을 감지하는 방법에는 여러 가지가 있습니다.

5가지 방법 설명

진공로에서 누출을 어떻게 테스트합니까? (5가지 방법 설명)

1. 소리 감지

한 가지 방법은 누출에서 나는 소리를 듣는 것입니다.

쉭쉭거리거나 휘파람 소리가 나면 누출이 있음을 나타낼 수 있습니다.

2. 진공 붕괴

또 다른 방법은 솔벤트를 사용하여 누출 부위를 관통하여 진공 게이지에서 진공 붕괴를 관찰하는 것입니다.

누출이 있으면 진공 레벨이 떨어집니다.

3. 헬륨 누출 감지기

질량 분석기와 같은 헬륨 누출 감지기를 사용하는 것은 누출을 감지하는 매우 민감한 방법입니다.

헬륨 가스가 퍼니스에 유입되고 누출이 발생하면 헬륨이 빠져나가 누출 감지기로 감지할 수 있습니다.

4. 누설률 테스트

누출률 테스트를 수행하려면 이온 게이지에서 퍼니스를 3 x 10-5 토르와 같은 고진공 수준까지 펌핑해야 합니다.

진공 TC 게이지의 진공 레벨 판독값을 기록해야 합니다.

펌프에서 진공 챔버를 분리한 후 15분 후에 진공 TC 게이지의 진공 레벨을 다시 기록해야 합니다.

초기 진공 판독값과 15분 판독값의 차이에 4를 곱하여 진공 챔버의 시간당 리크율을 계산합니다.

누출률에 대한 허용 기준은 규정 사양에 따라 다를 수 있지만 일반적으로 시간당 20미크론의 누출률은 대부분의 용도에서 허용됩니다.

그러나 잘 밀폐된 용광로는 시간당 5미크론 미만의 누출률을 달성할 수 있으며, 일부는 시간당 1미크론 미만의 수준도 달성할 수 있습니다.

5. 예방 유지보수

진공로에서 누출을 방지하려면 종합적인 예방 유지보수 프로그램이 필수적입니다.

여기에는 펌프, 오링 및 플랜지 씰링 표면의 적절한 관리와 진공 공급 트러스의 정기적인 점검이 포함됩니다.

공정 중 진공 수준을 지속적으로 모니터링하면 큰 수리로 이어지기 전에 잠재적인 문제를 파악하는 데 도움이 될 수 있습니다.

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