전자빔 증착은 물리적 기상 증착(PVD) 기술입니다. 이 기술은 집중된 전자 빔을 사용하여 진공 환경에서 소스 재료를 가열하고 기화시킵니다. 이를 통해 기판에 얇고 고순도의 코팅을 증착할 수 있습니다.
전자빔 증착은 어떻게 작동하나요? 간단한 4단계로 설명
1. 전자빔 생성
고전압(5-10kV)의 전류가 텅스텐 필라멘트를 통과합니다. 이렇게 하면 고온으로 가열되어 전자의 열 방출이 일어납니다.
2. 빔 포커싱 및 타겟팅
방출된 전자는 자기장을 사용하여 통일된 빔으로 집중됩니다. 그런 다음 빔은 증발할 물질이 들어 있는 도가니로 향합니다.
3. 물질 증발
고에너지 전자 빔은 도가니에 있는 물질에 에너지를 전달합니다. 이로 인해 물질이 증발하거나 승화됩니다.
4. 기판에 증착
증발된 물질은 진공 챔버를 통과합니다. 소스 재료 위에 위치한 기판 위에 증착되어 얇은 고순도 코팅을 형성합니다.
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