플라즈마 스퍼터링은 기판에 박막을 증착하기 위해 물리적 기상 증착(PVD)에 사용되는 공정입니다. 일반적으로 플라즈마의 이온과 같은 고에너지 입자에 부딪혀 대상 물질의 표면에서 원자가 방출되는 방식입니다. 다음은 플라즈마 스퍼터링의 작동 원리에 대한 자세한 설명입니다:
플라즈마의 형성:
이 공정은 진공 챔버에 아르곤과 같은 희귀 가스를 도입하는 것으로 시작됩니다. 챔버 내부의 압력은 일반적으로 최대 0.1 토르까지 특정 수준으로 유지됩니다. 그런 다음 DC 또는 RF 전원을 사용하여 아르곤 가스를 이온화하여 플라즈마를 생성합니다. 이 플라즈마는 거의 평형 상태에 있는 아르곤 이온과 자유 전자를 포함합니다.이온 폭격:
플라즈마 환경에서 아르곤 이온은 전압을 가하여 표적 물질(음극)을 향해 가속됩니다. 타겟은 원자를 스퍼터링할 재료입니다. 이 이온이 타겟에 부딪히면 에너지를 타겟 원자에 전달하여 일부 원자가 표면에서 방출됩니다. 이 과정을 스퍼터링이라고 합니다.
스퍼터링 속도:
타겟에서 원자가 스퍼터링되는 속도는 스퍼터 수율, 타겟의 몰 중량, 재료 밀도, 이온 전류 밀도 등 여러 요소의 영향을 받습니다. 스퍼터링 속도는 수학적으로 다음과 같이 표현할 수 있습니다:[ \text{스퍼터링 속도} = \frac{MSj}{pN_Ae} ]로 나타낼 수 있습니다.
여기서 ( M )은 타겟의 몰 중량, ( S )는 스퍼터 수율, ( j )는 이온 전류 밀도, ( p )는 재료 밀도, ( N_A )는 아보가드로 수, ( e )는 전자의 전하를 나타냅니다.박막 증착:
대상에서 방출된 원자는 플라즈마를 통해 이동하여 결국 기판에 증착되어 박막을 형성합니다. 이 증착 공정은 LED 디스플레이, 광학 필터, 정밀 광학 등 정밀하고 고품질의 코팅이 필요한 애플리케이션에 매우 중요합니다.
마그네트론 스퍼터링:
