콜드월 화학 기상 증착(CVD) 시스템은 주변 챔버 벽은 가열되지 않은 상태로 유지하면서 기판에만 독점적으로 열을 가하는 방식으로 차별화됩니다. 이 구성에서 상수원 전류가 전도성 기판을 직접 가열하는 반면, 캐비티 벽은 열 복사를 통해 최소한의 열만 흡수하면서 냉각 상태를 유지합니다.
핵심 요점 콜드월 CVD 시스템의 구체적인 가치는 우수한 열역학적 제어에 있습니다. 기판만 가열함으로써 빠른 냉각 주기와 온도 변화의 정밀한 조절이 가능하여 완전히 가열된 "핫월"로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의로의.
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