증착은 고체 표면에 얇거나 두꺼운 물질 층을 만들어 다양한 용도에 맞게 기판의 특성을 변경하는 데 사용되는 프로세스입니다. 증착 방법은 크게 물리적 기법과 화학적 기법으로 분류할 수 있으며, 각각 고유한 하위 방법과 응용 분야가 있습니다.
물리적 증착 방법:
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물리적 증착 방법에는 열역학적 또는 기계적 공정을 사용하여 화학 반응 없이 재료를 증착하는 방법이 포함됩니다. 이러한 방법은 일반적으로 정확한 결과를 얻기 위해 저압 환경이 필요합니다. 주요 물리적 증착 기법은 다음과 같습니다:
- 증착 기법:진공 열 증착:
- 진공 상태에서 재료를 가열하여 증발시킨 다음 기판에 응축하는 방식입니다.전자 빔 증착:
- 전자 빔을 사용하여 재료를 가열하고 증발시킵니다.레이저 빔 증발:
- 레이저를 사용하여 재료를 증발시킵니다.아크 증발:
- 전기 아크를 사용하여 재료를 증발시킵니다.분자 빔 에피택시:
- 단결정 박막을 성장시키는 데 사용되는 고도로 제어된 증착 공정입니다.이온 도금 증착:
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증착과 이온 충격을 결합하여 필름의 접착력과 밀도를 향상시킵니다.
- 스퍼터링 기법:직류 스퍼터링:
- 직류 전류를 사용하여 대상에서 기판으로 원자를 스퍼터링하는 플라즈마를 생성합니다.무선 주파수 스퍼터링:
무선 주파수를 사용하여 스퍼터링용 플라즈마를 생성합니다.화학 증착 방법:
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화학 증착 방법은 화학 반응을 통해 재료를 증착하는 방법입니다. 이러한 방법은 특정 화학 성분과 특성을 가진 필름을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 주요 화학 증착 기술은 다음과 같습니다:
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솔겔 기법:
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화학 반응을 통해 화학 용액을 고체로 전환하여 박막을 형성하는 습식 화학 기술입니다.화학 수조 증착:
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- 용액에서 화학 반응을 통해 증착이 일어나는 화학 배스에 기판을 담그는 방식입니다.스프레이 열분해:
- 가열된 기판에 화학 전구체를 분사하여 분해하여 필름으로 증착하는 방식입니다.
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도금:
- 전기 도금 증착: 전류를 사용하여 용액의 금속 이온을 기판에 증착합니다.
- 무전해 증착: 외부 전류 없이 용액에서 금속 이온을 화학적으로 환원하는 방식입니다.
- 화학 기상 증착(CVD):저압 CVD:
필름의 균일성과 순도를 향상시키기 위해 낮은 압력에서 수행됩니다.
플라즈마 강화 CVD:
