물리적 기상 증착기(PVD)는 물리적 기화 과정을 통해 기판 위에 재료의 박막을 증착하는 데 사용되는 장치입니다. 이 공정에는 대상 물질을 기화될 때까지 가열한 다음 기판 표면에 증착하는 과정이 포함됩니다. 결과물은 일반적으로 두께가 수 나노미터에서 수 마이크로미터에 이르는 매우 얇은 필름으로, 내마모성 향상, 경도 증가, 미적 외관 개선 등 다양한 이점을 제공할 수 있습니다. PVD 기계는 항공우주, 자동차, 의료 산업을 비롯한 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.
PVD 공정에 대한 설명:
물리적 기상 증착(PVD)은 고진공 환경에서 고체 소스에서 물질의 원자 또는 분자를 증발시킨 다음 기판에 응축시키는 박막 증착 공정입니다. 이 공정은 다양한 기판에 금속, 합금, 금속 산화물 및 일부 복합 재료의 필름을 증착하는 데 사용할 수 있습니다. PVD는 수 옹스트롬에서 수천 옹스트롬 두께의 필름을 증착할 수 있으며, 일반적인 증착 속도는 1-100 A/s입니다. PVD 공정의 주요 장점 중 하나는 거의 모든 무기 물질을 무공해 증착 공정을 사용하여 증착할 수 있다는 것입니다. 필름은 단일 재료, 등급 조성이 있는 레이어 또는 다층 코팅으로 구성될 수 있습니다.
- PVD 장비의 종류:음극 아크 PVD 장비:
- 이 공정에서는 소스 재료(음극)와 음전하를 띤 기판 사이에 전기 아크가 발생하여 소스 재료가 기화됩니다. 그런 다음 기화된 물질이 기판 위에 증착됩니다.펄스 레이저 증착(PLD) PVD 기계:
PLD 기계는 고에너지 레이저를 사용하여 소스 재료의 표면을 제거하여 플라즈마 기둥을 만듭니다. 그런 다음 플라즈마 기둥이 기판 위에 증착됩니다.PVD 코팅 기계의 응용 분야:
PVD 코팅은 인상적인 특성으로 인해 다양한 산업 분야에서 사용됩니다. 일반적인 응용 분야에는 엔진 부품, 장식 트림, 휠과 같은 자동차 부품의 내구성과 외관을 개선하는 것이 포함됩니다. 또한 PVD 코팅은 다양한 부품의 성능과 수명을 향상시키는 능력으로 항공우주 및 의료 산업에서 활용되고 있습니다.
요약:
