진공로의 누설률은 진공 챔버의 용도와 부피에 따라 달라질 수 있습니다. 일반적으로 대부분의 진공로에서는 시간당 10미크론의 누출률이 허용됩니다. 그러나 초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요한 응용 분야의 경우 시간당 5미크론 미만의 누출률이 필수입니다. 원하는 진공 수준을 유지하려면 누출이 없는 진공 챔버, 도어, 피드스루 및 관통부를 갖추는 것이 중요합니다.
리크율 테스트는 진공 시스템의 무결성을 보장하기 위해 수행됩니다. 이 테스트는 일반적으로 퍼니스를 대기로 배출하지 않고 드라이 런 사이클 직후에 수행됩니다. 펌핑 시스템은 수동 모드에서 시작되고 퍼니스는 1 x 10-4 torr 이상까지 펌핑됩니다. 그런 다음 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리하고 진공 레벨을 30분 후와 60분 후에 다시 기록합니다. 그런 다음 시간당 미크론 단위로 누출률을 계산하고 관리 사양에 지정된 허용 기준과 비교할 수 있습니다.
최신 용광로의 경우, 누출률은 70미크론 이하의 압력에서 시간당 10미크론을 초과하지 않아야 합니다. 구형 용광로는 시간당 20~25미크론의 누출률이 있을 수 있지만 여전히 허용 가능한 것으로 간주됩니다. 이러한 누출률은 용광로로 누출되는 불순물의 양이 처리되는 재료에 심각한 악영향을 미치지 않을 정도로 충분히 낮다는 것을 보장합니다. 용광로의 누출률이 이 한도를 초과하는 경우, 누출이 수리될 때까지 생산에 사용해서는 안 됩니다. 이러한 경우, 용광로에 질소를 다시 채우고 모든 진공 피드스루를 조여 누출률을 다시 테스트해야 할 수 있습니다.
누출로 인한 문제를 예방하기 위해 용광로 제조업체의 규정에 따라 정기적으로 누출률 점검을 수행하는 것이 중요합니다. 누출률이 높으면 용광로 내 잔류 산소 함량이 높아져 열처리 결과에 악영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 전체 진공 시스템에 적절한 주의를 기울여야 하며 모든 조인트, 용접, 씰, 밸브, 펌프 및 용기 자체의 누출 감지가 매우 중요합니다.
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