스퍼터링 속도는 재료 과학 분야에서 중요한 개념입니다.
이는 대상 재료의 표면에서 제거되는 초당 단층 수를 나타냅니다.
이 속도는 여러 요인의 영향을 받습니다.
주요 요인 중 하나는 스퍼터 수율입니다.
스퍼터 수율은 입사 이온당 방출되는 원자의 수입니다.
이는 주로 대상 물질, 충돌 입자의 질량 및 충돌 입자의 에너지에 따라 달라집니다.
또 다른 요인은 표적 물질의 몰 중량입니다.
재료 밀도도 중요한 역할을 합니다.
마지막으로 이온 전류 밀도가 중요한 요소입니다.
스퍼터 증착 공정에서 스퍼터링 속도는 중요한 파라미터입니다.
스퍼터링 속도는 타겟 물질이 제거되어 샘플 표면에 증착되는 속도를 결정합니다.
그러나 스퍼터링 속도는 여러 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
이러한 조건에는 스퍼터 전류, 스퍼터 전압, 압력, 타겟에서 샘플까지의 거리, 스퍼터 가스, 타겟 두께 및 샘플 재료가 포함됩니다.
이러한 파라미터의 복잡성과 가변성으로 인해 정확한 증착 속도를 계산하는 것은 어려울 수 있습니다.
따라서 두께 모니터를 사용하여 실제 증착된 코팅 두께를 측정하는 것이 좋습니다.
또한 스퍼터링 속도는 타겟에서 제거된 재료의 양을 측정한다는 점에 유의해야 합니다.
반면 증착 속도는 시료 표면에 증착된 타겟 물질의 양을 측정합니다.
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