화학 기상 증착(CVD)은 다양한 재료를 사용하여 기판에 코팅을 만드는 공정입니다.
이러한 재료는 단결정, 다결정, 비정질과 같은 다양한 미세 구조로 증착될 수 있습니다.
CVD 공정에는 반응성 가스 또는 휘발성 전구체가 기판에서 반응 및/또는 분해되어 고체 코팅을 형성하는 과정이 포함됩니다.
10가지 주요 재료 설명
1. 탄화물, 질화물 및 산화질소
이러한 재료는 일반적으로 높은 경도와 내마모성이 요구되는 애플리케이션에 사용됩니다.
예를 들어 탄화규소(SiC)와 질화티타늄(TiN)은 일반적으로 절삭 공구와 내마모성 코팅에 사용됩니다.
2. 실리콘-산소-게르마늄 조성물
이러한 재료는 고유한 전기적 특성으로 인해 반도체 응용 분야에 자주 사용됩니다.
3. 탄소 형태
이 범주에는 불소 탄소와 같은 다양한 재료가 포함되며, 불소 탄소는 점착성이 없고 마찰이 적은 특성으로 사용됩니다.
다이아몬드는 극한의 경도 때문에 사용됩니다.
그래핀은 높은 전기 전도성과 강도를 위해 사용됩니다.
4. 폴리머
폴리머의 CVD는 생체 의료 기기 임플란트, 회로 기판, 내구성 있는 윤활 코팅과 같은 응용 분야에 활용됩니다.
폴리머는 이러한 다양한 응용 분야에 적합한 특정 기계적 및 화학적 특성을 갖도록 맞춤화할 수 있습니다.
5. 금속 및 금속 합금
예를 들어 티타늄(Ti)과 텅스텐(W)은 강도와 고온에 대한 저항성으로 인해 항공우주에서 전자제품에 이르기까지 다양한 분야에 사용됩니다.
6. 단결정 마이크로 구조
단결정 미세 구조는 고도로 질서정연하며 반도체 소자와 같이 높은 전기 전도성과 기계적 강도가 요구되는 곳에 사용됩니다.
7. 다결정 마이크로 구조
많은 작은 결정 또는 입자로 구성되어 있으며, 적당한 강도와 전도성이 필요한 응용 분야에 사용됩니다.
8. 비정질 마이크로 구조
장거리 질서가 부족하고 투명성이나 유연성이 필요한 애플리케이션에 자주 사용됩니다.
9. 전구체
기판 표면에서 반응하여 원하는 코팅을 형성하는 휘발성 화합물입니다.
증착할 재료에 따라 할로겐화물, 수화물 또는 기타 반응성 기체가 될 수 있습니다.
10. 증착 기술
다양한 CVD 기술에는 대기압 CVD(APCVD), 저압 CVD(LPCVD), 초고진공 CVD(UHVCVD), 플라즈마 강화 CVD(PECVD) 등이 포함됩니다.
각 기술에는 고유한 장점이 있으며 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다.
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