박막 증착은 일반적으로 금속, 산화물, 화합물로 만든 기판을 사용합니다. 각 재료 유형은 고유한 장점과 단점을 제공하며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 선택에 영향을 미칩니다.
금속 은 강도, 내구성 및 기판에 쉽게 증착할 수 있기 때문에 박막 증착에 자주 사용됩니다. 특히 열 및 전기 전도성이 우수하여 이러한 특성이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다. 그러나 특정 금속의 비용으로 인해 일부 애플리케이션에서는 사용이 제한될 수 있습니다.
산화물 는 특히 경도와 고온에 대한 내성으로 인해 박막 증착을 위한 또 다른 주요한 선택입니다. 산화물은 다양한 애플리케이션에서 보호층으로 자주 사용됩니다. 이러한 장점에도 불구하고 산화물은 부서지기 쉽고 작업하기 어려울 수 있으므로 특정 시나리오에서는 사용이 제한될 수 있습니다.
화합물 박막 증착에 사용되는 화합물은 애플리케이션의 요구 사항에 따라 특정 특성을 갖도록 맞춤화됩니다. 여기에는 맞춤형 전기적, 광학적 또는 기계적 특성이 포함될 수 있으므로 화합물은 다양한 응용 분야에 다용도로 사용할 수 있습니다.
박막 증착에서 기판 재료의 선택은 박막의 성능과 기능에 직접적인 영향을 미치기 때문에 매우 중요합니다. 기판은 반도체 웨이퍼, 태양 전지, 광학 부품 등 다양한 물체 중 어느 것이든 될 수 있습니다. 또한 증착 방법은 재료의 종류와 층의 특정 기능에 따라 결정되므로 박막 기술에서 재료 선택의 중요성이 강조됩니다.
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