스퍼터 코팅은 현미경의 이미징 기능을 향상시키기 위해 SEM에 사용됩니다.
이는 샘플의 전기 전도도를 향상시킵니다.
이는 빔 손상을 줄이고 이미지의 품질을 향상시킵니다.
이는 비전도성 또는 전도성이 낮은 시료에 특히 중요합니다.
SEM에 스퍼터 코터를 사용하는 이유는 무엇인가요? 5가지 주요 이점
1. 전기 전도도 향상
SEM에서 스퍼터 코팅을 사용하는 주된 이유는 시료의 전기 전도도를 높이기 위해서입니다.
많은 샘플, 특히 생물학적 물질과 비금속 물질은 전기 전도성이 좋지 않습니다.
SEM에서 전자 빔은 시료와 상호 작용합니다.
시료가 전도성이 없는 경우 전하가 축적되어 이미지가 왜곡되거나 시료가 손상될 수 있습니다.
금이나 백금과 같은 금속으로 스퍼터 코팅하면 전하 축적을 방지하는 전도성 층이 생성됩니다.
이를 통해 전자빔이 샘플과 효과적으로 상호 작용할 수 있습니다.
2. 빔 손상 감소
SEM의 고에너지 전자 빔은 민감한 시료, 특히 유기 물질에 손상을 일으킬 수 있습니다.
얇은 금속 코팅은 완충제 역할을 하여 전자빔의 에너지를 일부 흡수할 수 있습니다.
이렇게 하면 시료에 대한 직접적인 영향을 줄일 수 있습니다.
이는 샘플의 무결성을 보존하고 여러 번의 스캔을 통해 더 선명한 이미지를 얻는 데 도움이 됩니다.
3. 이차 전자 방출 향상
이차 전자는 이미지의 대비를 제공하기 때문에 SEM에서 이미징에 매우 중요합니다.
스퍼터 코팅은 방출 과정을 용이하게 하는 전도성 표면을 제공하여 이차 전자의 방출을 향상시킵니다.
이는 고해상도 이미지를 얻는 데 필수적인 높은 신호 대 잡음비로 이어집니다.
4. 엣지 해상도 향상
스퍼터 코팅은 또한 전자 빔이 시료에 침투하는 것을 줄여줍니다.
이는 이미지의 에지 해상도를 개선하는 데 특히 유용합니다.
이는 샘플 표면과 구조의 상세한 분석에 매우 중요합니다.
5. 빔에 민감한 시료 보호
매우 민감한 시료의 경우 금속 코팅은 전도도를 향상시킬 뿐만 아니라 보호 층을 제공합니다.
이는 전자빔의 직접적인 충격으로부터 샘플을 보호하여 손상을 방지합니다.
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