CVD 코팅 또는 화학 기상 증착 코팅은 다양한 기판에 박막 코팅을 적용하는 데 사용되는 공정입니다.
이 방법은 제어된 분위기 반응기 내에서 일반적으로 약 500°C ~ 1925°F의 고온에서 기체 전구체를 반응시키는 것입니다.
이러한 가스와 가열된 기판 표면 사이의 반응으로 인해 화학적 및 금속학적으로 기판에 결합하는 단단하고 내마모성이 강한 코팅이 형성됩니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 프로세스 세부 사항
CVD 공정은 특정 가스를 리액터에 주입하는 것으로 시작됩니다.
이러한 가스는 고온에서 반응하여 기판에 박막을 형성합니다.
예를 들어, 1000°C에서 TiCl4, N2, H2를 반응시키면 경도와 내마모성으로 잘 알려진 일반적인 CVD 코팅인 TiN(질화 티타늄)이 형성됩니다.
마찬가지로 1030°C에서 TiCl4, CH4, H2의 반응을 통해 TiC(티타늄 카바이드)가 생성됩니다.
2. CVD 코팅의 장점
CVD 코팅은 내구성과 환경 친화성으로 높은 평가를 받고 있습니다.
공작 기계, 마모 부품, 분석 기기 등 고성능 박막을 필요로 하는 산업 분야에서 광범위하게 사용됩니다.
이 코팅은 마모와 마멸에 대한 저항성이 뛰어나 금속 성형 응용 분야 및 기타 고응력 환경에 이상적입니다.
3. 환경 및 안전 고려 사항
CVD 공정 중에는 염소 및 염산 가스와 같은 부산물이 생성됩니다.
이러한 가스는 챔버에서 배출되며 안전 및 규정 준수를 위해 환경 규정에 따라 스크러빙해야 합니다.
4. 결론
CVD 코팅은 정밀 응용 분야에서 탁월한 성능을 제공하는 현대 제조의 핵심 기술입니다.
이 공정을 통해 코팅 특성을 정밀하게 제어할 수 있으므로 최종 제품이 다양한 산업 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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